Removal Technology of Poly-Vinyl Phenol Using Laser Irradiation
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激光照射去除聚乙烯苯酚技术
DOI：
10.2494/photopolymer.29.633
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发表时间：
2016
影响因子：
0.8
通讯作者：
H. Horibe
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T. Kamimura;K. Nuno;Y. Kuroki;T. Yamashiro;S. Tsujimoto;R. Nakamura;S. Takagi;T. Nishiyama;H. Horibe
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使用紫外激光 (266 nm) 去除重氮萘醌/酚醛清漆抗蚀剂
影响因子：
2.8
作者：
H. Horibe;T. Kamimura;T. Hata;Masashi Yamamoto;I. Yamato;Osamu Nigo;M. Fujita;A. Yoshikado;K. Yoshida
通讯作者：
K. Yoshida
使用热丝钨催化剂产生的原子氢去除光刻胶的速率与基材温度的关系
影响因子：
1.5
作者：
Masashi Yamamoto;T. Maruoka;A. Kono;H. Horibe;H. Umemoto
通讯作者：
H. Umemoto
通过激光照射 (532 nm) 去除酚醛清漆抗蚀剂以及抗蚀剂与基材之间的粘附力
影响因子：
1.5
作者：
H. Horibe;M. Fujita;I. Nishiyama;A. Yoshikado
通讯作者：
A. Yoshikado
使用原子氢去除抗蚀剂
影响因子：
0.8
作者：
H. Horibe;Masashi Yamamoto;E. Kusano;T. Ichikawa;S. Tagawa
通讯作者：
S. Tagawa
影响因子：
1.4
作者：
M. Kawaguchi;J. Papanu;Bo Su;M. Castle;A. Al
通讯作者：
A. Al