Improved retention of phosphorus donors in germanium using a non-amorphizing fluorine co-implantation technique
Improved retention of phosphorus donors in germanium using a non-amorphizing fluorine co-implantation technique
复制标题
使用非非晶化氟共注入技术改善了磷供体在锗中的保留
DOI：
10.1063/1.4999210
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发表时间：
2018
影响因子：
3.2
通讯作者：
Monmeyran C
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Monmeyran C
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影响因子：
2.2
作者：
G. Impellizzeri;E. Napolitani;S. Boninelli;J. Sullivan;J. Roberts;S. Buckman;S. Ruffell;F. Priolo;V. Privitera
通讯作者：
V. Privitera
影响因子：
2.1
作者：
Claverie, A.;Koffel, S.;Scheiblin, P.
通讯作者：
Scheiblin, P.
DOI：
10.1002/pssa.201300151
发表时间：
2014
期刊：
physica status solidi (a)
影响因子：
--
作者：
H. Bracht
通讯作者：
H. Bracht
影响因子：
3.2
作者：
H. Mubarek
通讯作者：
H. Mubarek
影响因子：
3.2
作者：
N. Patel;Corentin Monmeyran;A. Agarwal;L. Kimerling
通讯作者：
L. Kimerling