High-Q and CMOS compatible single crystal silicon cantilever with separated on-chip piezoelectric actuator for ultra-sensitive mass detection
High-Q and CMOS compatible single crystal silicon cantilever with separated on-chip piezoelectric actuator for ultra-sensitive mass detection
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高 Q 值和 CMOS 兼容的单晶硅悬臂梁，具有独立的片上压电执行器，用于超灵敏质量检测
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Jian
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Lu;Jian
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压电锆钛酸铅薄膜换能微悬臂梁的品质因数
DOI：
10.1007/s00542-006-0272-2
发表时间：
2007
期刊：
Microsystem Technologies
影响因子：
--
作者：
Jian Lu;T. Ikehara;Takeshi Kobayashi;R. Maeda;T. Mihara
通讯作者：
T. Mihara
具有第二扭转模式的集成谐振悬臂梁传感器，用于 fg 级可溶生物医学检测
DOI：
10.1109/memsys.2007.4433026
发表时间：
2007
期刊：
2007 IEEE 20th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子：
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作者：
Dazhong Jin;Xinxin Li;Zhixiang Zhang;Hanhan Bao;Yuelin Wang;Jian Liu;Haitai Yu
通讯作者：
Haitai Yu
1.14GHz 压电换能盘谐振器
DOI：
10.1109/memsys.2005.1453902
发表时间：
2005
期刊：
18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2005. MEMS 2005.
影响因子：
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作者：
Le Yan;M. Wu;W. Tang
通讯作者：
W. Tang
锆钛酸铅薄膜转换微悬臂梁的能量耗散机制
影响因子：
1.5
作者：
Jian Lu;T. Ikehara;Yi Zhang;R. Maeda;T. Mihara
通讯作者：
T. Mihara
影响因子：
2.7
作者：
Burg, Thomas P.;Mirza, Amir R.;Manalis, Scott R.
通讯作者：
Manalis, Scott R.