Deposition of Cu thin films from supercritical carbon dioxide using hexafluoroacetylacetnatecopper
Deposition of Cu thin films from supercritical carbon dioxide using hexafluoroacetylacetnatecopper
复制标题
使用六氟乙酰乙酸铜从超临界二氧化碳沉积铜薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K.Shigama
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
E.Kondoh;K.Shigama
登录
查看更多内容
六氟乙酰丙酮铜 (II) I 的 Cu CVD 法。
影响因子：
3.9
作者：
Y. D. Chen;A. Reisman;I. Turlik;D. Temple
通讯作者：
D. Temple
超临界CO 2 流体中铜沉积的特性
影响因子：
2.3
作者：
E. Kondoh;H. Kato
通讯作者：
H. Kato
用于铜的醇辅助化学气相沉积的 Cu ( hfac ) 2 溶液输送
DOI：
--
发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
--
作者：
N. Borgharkar;G. Griffin;Hui Fan;A. Maverick
通讯作者：
A. Maverick
通过新型超临界流体传输化学沉积工艺沉积钯膜
影响因子：
5.4
作者：
B. Hybertson;Brian N. Hansen;R. Barkley;R. Sievers
通讯作者：
R. Sievers
使用 Cu(HFA)2 通过化学气相沉积选择性沉积铜
DOI：
--
发表时间：
1994
期刊：
影响因子：
--
作者：
Do‐Heyoung Kim;R. H. Wentorf;W. Gill
通讯作者：
W. Gill