Silicon thermal oxidation and its thermal desorption investigated by Si 2p core-level photoemission

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Si 2p核级光电子研究硅热氧化及其热脱附

DOI:
--
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发表时间:
2010
期刊:
Journal of Physics : Conference Series
影响因子:
--
通讯作者:
and Y. Sakisaka
and Y. Sakisaka
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Y. Enta;H. Nakazawa;S. Sato;H. Kato;and Y. Sakisaka

文献摘要

参考文献

被引文献

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