Ion Implantation of Germanium Into Silicon for Critical Coupling Control of Racetrack Resonators

Ion Implantation of Germanium Into Silicon for Critical Coupling Control of Racetrack Resonators
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将锗离子注入硅中以实现跑道谐振器的临界耦合控制

DOI:
10.1109/jlt.2020.2967935
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发表时间:
2020
影响因子:
4.7
通讯作者:
Milosevic M
Milosevic M
中科院分区:
工程技术2区
文献类型:
--
作者:
Milosevic M

文献摘要

参考文献

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