Evaluation of the optical performance of a novel high-speed focal-distance-modulated fibre-coupled confocal sensor
Evaluation of the optical performance of a novel high-speed focal-distance-modulated fibre-coupled confocal sensor
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新型高速焦距调制光纤耦合共焦传感器的光学性能评估
DOI：
10.1117/12.2526038
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Hausotte
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Gröschl;Schaude;Hausotte
本文对一种新型高频焦距调制式共聚焦传感器的光学性能进行了评价。在保持共焦测量原理的已知优势的同时，该传感器代表了光纤耦合共焦照明和检测与用于调制焦距的可调谐、声驱动的梯度折射率流体透镜(标签透镜)和利用锁定放大器的新颖信号处理的创新组合。对于扫描采样模式下的纳米坐标测量系统(CMS)的最优反馈控制，新的结构能够获得近似线性的特性曲线。本文着重介绍了该传感器在纳米CMS(NMM-1)中的实现和使用，以及新的信号处理方法的优点。在不同分辨率标准下进行了测量，并与常规共焦显微镜(CCM)的焦距调制传感器和无焦距调制传感器进行了比较。
This article presents the evaluation of the optical performance of a new high-frequency focal-distance-modulated confocal point sensor. While maintaining the known advantages of the confocal measurement principle, the sen- sor represents an innovative combination of a fibre-coupled confocal illumination and detection with a tuneable, acoustically driven gradient-index fluid lens (TAG lens) for the modulation of the focus distance and a novel signal processing utilizing a lock-in amplifier. The new arrangement is able to achieve an approximately linear characteristic curve for the optimised feedback control of nano coordinate measuring systems (CMS) in scanning sample mode. This article emphasises the implementation and use of the sensor in nano CMS (NMM-1) and the advantages of the new signal processing. Measurements on different resolution standards are conducted and compared with the focal-distance-modulated sensor and without focus-distance-modulation as conventional confocal microscope (CCM).
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影响因子：
2.4
作者：
T. Hausotte;B. Percle;G. Jäger
通讯作者：
T. Hausotte;B. Percle;G. Jäger
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DOI：
10.1515/teme-2019-0008
发表时间：
2019
期刊：
tm - Technisches Messen
影响因子：
--
作者：
Gröschl;Schaude;Hausotte
通讯作者：
Hausotte
影响因子：
1.9
作者：
T. Hausotte;A. Gröschl;Janik Schaude
通讯作者：
T. Hausotte;A. Gröschl;Janik Schaude
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DOI：
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发表时间：
2012
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DOI：
10.1515/teme-2018-0040
发表时间：
2018
期刊：
tm - Technisches Messen
影响因子：
--
作者：
Gröschl;Schaude;Hausotte
通讯作者：
Hausotte