1MPa Resistant MEMS Slide Valve Driven by an External Actuator for High Power Fluidic Applications
1MPa Resistant MEMS Slide Valve Driven by an External Actuator for High Power Fluidic Applications
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由外部执行器驱动的 1MPa 耐 MEMS 滑阀，适用于高功率流体应用
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
F. Shimokawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Takao;S. Takemasa;K. Terao;F. Shimokawa
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影响因子：
2.7
作者：
Takao, H;Ishida, M;Sawada, K
通讯作者：
Sawada, K
利用气动微阀和 MOSFET 之间的类似关系进行信号处理的微流控集成电路
DOI：
10.1109/jmems.2003.815838
发表时间：
2003
期刊：
IEEE\/ASME Journal of Microelectromechanical Systems
影响因子：
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作者：
H. Takao;M. Ishida
通讯作者：
M. Ishida
通过光流控光刻的单层微流控电流源
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS
影响因子：
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作者：
C. Glick;S. Peng;M. Chung;K. Korner;M. Veale;C. Liu;J. Moore;A. Chu;A. Buckley;K. Iwai;R. Sochol;L. Lin
通讯作者：
L. Lin
PDMS 中的垂直膜微型阀
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS
影响因子：
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作者：
J. Hansson;Mikael Hillmering;T. Haraldsson;Wouter van der Wijngaart
通讯作者：
Wouter van der Wijngaart
带旋转机构的多向切换阀芯片（第1次报告，利用旋转机构的多向切换原理验证）
DOI：
10.1299/kikaic.73.811
发表时间：
2007
期刊：
Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. C
影响因子：
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作者：
T. Hasegawa;K. Nakashima;K. Ikuta
通讯作者：
K. Ikuta