Preferential Sputtering Observed in Auger Electron Spectroscopy Sputter Depth Sputter Depth Profiling of AlAs/GaAs Superlattice Using Low-Energy Ions
Preferential Sputtering Observed in Auger Electron Spectroscopy Sputter Depth Sputter Depth Profiling of AlAs/GaAs Superlattice Using Low-Energy Ions
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俄歇电子能谱中观察到的择优溅射 溅射深度 使用低能离子对 AlAs/GaAs 超晶格进行溅射深度分析
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Y.Takai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Mizuhara;T.Bungo;T.Nagatomi;Y.Takai
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