Extreme Ultraviolet Light Sources and Soft X-Ray Laser Based on Discharge Produced Plasma

Extreme Ultraviolet Light Sources and Soft X-Ray Laser Based on Discharge Produced Plasma
复制标题

基于放电产生等离子体的极紫外光源和软 X 射线激光器

DOI:
--
复制
发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Masato Watanabe
Masato Watanabe
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Eiki Hotta;Yusuke Sakai;Yasushi Hayashi;Gohta Niimi;Bin Huang;Qiushi Zhu;Inho Song;Masato Watanabe

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

$hbox{CO}_{2}$ 激光脉冲与锡基等离子体的相互作用,用于极紫外光刻源
DOI: 10.1109/tps.2009.2034379
发表时间: 2010
影响因子: 1.5
作者:
Y. Tao;M. Tillack;S. Yuspeh;R. Burdt;N. Shaikh;N. Amin;F. Najmabadi
通讯作者: F. Najmabadi
DOI: 10.1117/12.655938
发表时间: 2006
期刊: --
影响因子: --
作者:
Akira Sasaki;K. Nishihara;Atsushi Sunahara;T. Nishikawa;F. Koike;K. Kagawa;H. Tanuma
通讯作者: H. Tanuma
锡膜在远紫外线下的透过率
DOI: 10.1364/josa.56.000189
发表时间: 1966
影响因子: --
作者:
K. Codling;R. Madden;W. Hunter;D. W. Angel
通讯作者: D. W. Angel
Ge I 和 Sn I 最外层 d 亚壳层吸收光谱
DOI: 10.1098/rspa.1977.0157
发表时间: 1977
期刊: Proceedings of the Royal Society of London. A. Mathematical and Physical Sciences
影响因子: --
作者:
J. Connerade;M. Martin
通讯作者: M. Martin
DOI: 10.1063/1.2948874
发表时间: 2008-06-16
影响因子: 4
作者:
Fujioka, Shinsuke;Shimomura, Masashi;Mima, Kunioki
通讯作者: Mima, Kunioki