Non-equilibrium solid-phase growth of amorphous GeSn layer on Ge-on-insulator wafer induced by flash lamp annealing

Non-equilibrium solid-phase growth of amorphous GeSn layer on Ge-on-insulator wafer induced by flash lamp annealing
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闪光灯退火诱导绝缘体上Ge晶圆上非晶GeSn层的非平衡固相生长

DOI:
10.35848/1882-0786/abdac4
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发表时间:
2021
影响因子:
2.3
通讯作者:
Endo Kazuhiko
Endo Kazuhiko
中科院分区:
物理与天体物理3区
文献类型:
--
作者:
Oka Hiroshi;Mizubayashi Wataru;Ishikawa Yuki;Uchida Noriyuki;Mori Takahiro;Endo Kazuhiko

文献摘要

参考文献

被引文献

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