Piezoelectric Tantalum Aluminum Nitride Films for Vibrational Micro Energy Harvesters
Piezoelectric Tantalum Aluminum Nitride Films for Vibrational Micro Energy Harvesters
复制标题
用于振动微能量采集器的压电钽氮化铝薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
L. Van Minh and H. Kuwano
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
三星 響;K. Kanishka H. De Silva;松原 歩;原 正則;吉村 雅満;L. Van Minh and H. Kuwano
登录
查看更多内容
用于振动能量收集器的氯基感应耦合等离子体对单向 AlN 薄膜进行高速蚀刻
DOI：
10.1088/1742-6596/1407/1/012067
发表时间：
2019
期刊：
Journal of Physics: Conference Series
影响因子：
--
作者：
H. Nguyen;L. Van Minh;H. Kuwano
通讯作者：
H. Kuwano
采用先进 (Mg,Zr) 共掺杂 AlN 薄膜的压电微型能量采集器
DOI：
10.1109/memsys.2015.7051154
发表时间：
2015
期刊：
2015 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子：
--
作者：
L. Minh;M. Hara;H. Kuwano;T. Yokoyama;T. Nishihara;M. Ueda
通讯作者：
M. Ueda
MgHf共掺杂AlN压电薄膜高效微型能量收集器的开发
DOI：
10.1109/memsys.2018.8346524
发表时间：
2018
期刊：
2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子：
--
作者：
Hung Nguyen;L. Van Minh;H. Oguchi;H. Kuwano
通讯作者：
H. Kuwano
蓝宝石和硅衬底上的 ScxAl1-xN (x = 0.27) 薄膜在高温负载下的性能
DOI：
10.1007/s00542-015-2798-7
发表时间：
2015
期刊：
Microsystem Technologies
影响因子：
--
作者：
P. Mayrhofer;P. Persson;A. Bittner;U. Schmid
通讯作者：
U. Schmid
采用 (K, Na)NbO3 薄膜的体量微机械能量采集器
影响因子：
2.3
作者：
L. Minh;M. Hara;F. Horikiri;K. Shibata;T. Mishima;H. Kuwano
通讯作者：
H. Kuwano