Feasibility Study of ${\rm SrRuO}_{3}/{\rm SrTiO}_{3}/{\rm SrRuO}_{3}$ Thin Film Capacitors in DRAM Applications

Feasibility Study of ${\rm SrRuO}_{3}/{\rm SrTiO}_{3}/{\rm SrRuO}_{3}$ Thin Film Capacitors in DRAM Applications
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${ m SrRuO}_{3}/{ m SrTiO}_{3}/{ m SrRuO}_{3}$薄膜电容器在DRAM应用中的可行性研究

DOI:
10.1109/ted.2014.2314148
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发表时间:
2014
影响因子:
3.1
通讯作者:
P. Lugli
P. Lugli
中科院分区:
工程技术2区
文献类型:
--
作者:
D. Popescu;B. Popescu;G. Jegert;S. Schmelzer;U. Boettger;P. Lugli

文献摘要

参考文献

被引文献

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