Transparent and passive Ta–Si–N thin films barrier layer
Transparent and passive Ta–Si–N thin films barrier layer
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透明钝化Ta-Si-N薄膜阻挡层
DOI：
10.1557/s43579-021-00127-8
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发表时间：
2021
影响因子：
1.9
通讯作者：
Adedeji, Adetayo
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Harmon, Alexis;Robertson, Darnell;Elahi, Mehran;Kumar, Bijandra;Adedeji, Adetayo
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