Impact of Underwater Laser Annealing on Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors for Inactivation of Electrical Defects
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水下激光退火对多晶硅薄膜晶体管电缺陷钝化的影响
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Emi Machida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Emi Machida;et. al.;Emi Machida;Emi Machida;町田絵美;Emi Machida;町田絵美;Emi Machida;Emi Machida;青木麻野;町田絵美;Emi Machida
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