Modeling of Si Self-Diffusion in SiO_2 Effect of the Si/SiO_2 Interface Including Time-Dependent Diffusivity

Modeling of Si Self-Diffusion in SiO_2 Effect of the Si/SiO_2 Interface Including Time-Dependent Diffusivity
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SiO_2 中 Si 自扩散的建模 Si/SiO_2 界面的效应(包括随时间变化的扩散率)

DOI:
--
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发表时间:
2004
期刊:
Appl. Phys. Lett. 84-6
影响因子:
--
通讯作者:
U.Gosele
U.Gosele
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
M.Uematsu;A.Fujiwara;H.Kageshima;Y.Takahashi;S.Fukatsu;K.M.Itoh;K.Shiraishi;U.Gosele

文献摘要

参考文献

被引文献

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