Fatigue Behavior of LP-CVD Polycrystalline Silicon Thin Film
Fatigue Behavior of LP-CVD Polycrystalline Silicon Thin Film
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LP-CVD多晶硅薄膜的疲劳行为
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Q. Chen
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Maeda;H. Komatsu;S. Kariya;M. Murai;K. Kusukawa;Q. Chen
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DOI：
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