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U.S.-France Cooperative Research: Modeling and Application of Microwave Discharges

U.S.-France Cooperative Research: Modeling and Application of Microwave Discharges
美法合作研究：微波放电的建模与应用
批准号：
8514386
负责人：
Jes Asmussen
金额：
$0.91万
依托单位：
Michigan State University
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1986
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1986-04-15 至 1989-03-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8514386&HistoricalAwards=false
关键词：
U.S.FranceCooperativeResearchModeling

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The Acquisition of Laboratory Equipment to Facilitate Micro and Nano Engineering at Michigan State University
  • 批准号：
    0116252
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $27.2万
  • 财政年份：
    2001
  • 负责人：
    Jes Asmussen
  • 依托单位：
    Michigan State University
Acquisition of Instrumentation to Support of Interdisciplinary Research in Plasma Manufacturing of Thin Film Coatings and Electronic Materials
  • 批准号：
    9413727
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $20.0万
  • 财政年份：
    1994
  • 负责人：
    Jes Asmussen
  • 依托单位：
    Michigan State University
Engineering Research Equipment Grant: Suss MJB 3 UV 300 High Performance Aligner
  • 批准号：
    8806324
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $3.5万
  • 财政年份：
    1988
  • 负责人：
    Jes Asmussen
  • 依托单位：
    Michigan State University
Microwave Plasma Processing for VLSI Technology
  • 批准号：
    8413596
  • 项目类别：
    Continuing Grant
  • 资助金额：
    $15.2万
  • 财政年份：
    1985
  • 负责人：
    Jes Asmussen
  • 依托单位：
    Michigan State University
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