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Modeling of 3-D Diffraction and Scattering from Submicron Objects on Silicon for Particulate Monitoring and Photolithography

Modeling of 3-D Diffraction and Scattering from Submicron Objects on Silicon for Particulate Monitoring and Photolithography
硅上亚微米物体的 3D 衍射和散射建模，用于颗粒监测和光刻
批准号：
8560204
负责人：
Gregory Wojcik
金额：
$3.99万
依托单位：
Weidlinger Associates Inc
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1986
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1986-02-01 至 1986-07-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8560204&HistoricalAwards=false
关键词：
ModelingDiffractionScatteringSubmicronObjects

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Computer Simulation of Integrated Optics for the Analysis and Design of Advanced Devices
  • 批准号：
    9460452
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $6.5万
  • 财政年份：
    1995
  • 负责人：
    Gregory Wojcik
  • 依托单位：
    Weidlinger Associates Inc
Electromechanical Finite Element Models for Ultrasound Transducer Analysis and Design
  • 批准号：
    9313666
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $29.21万
  • 财政年份：
    1994
  • 负责人：
    Gregory Wojcik
  • 依托单位：
    Weidlinger Associates, Incorporated
Electromechanical Finite Element Models for Ultrasound Transducer Analysis and Design
  • 批准号：
    9161050
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $4.99万
  • 财政年份：
    1992
  • 负责人：
    Gregory Wojcik
  • 依托单位：
    Weidlinger Associates, Incorporated
An Application-Specific Computer for Laplace's Equation
  • 批准号：
    9061185
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $5.0万
  • 财政年份：
    1991
  • 负责人：
    Gregory Wojcik
  • 依托单位：
    Weidlinger Associates, Incorporated
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