Modeling of 3-D Diffraction and Scattering from Submicron Objects on Silicon for Particulate Monitoring and Photolithography

硅上亚微米物体的 3D 衍射和散射建模，用于颗粒监测和光刻

基本信息

  • 批准号：
    8560204
  • 负责人：
    Gregory Wojcik
  • 金额：
    $ 3.99万
  • 依托单位：
    Weidlinger Associates Inc
  • 依托单位国家：
    美国
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 财政年份：
    1986
  • 资助国家：
    美国
  • 起止时间：
    1986-02-01 至 1986-07-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

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