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SBIR: Substrate Heating for the Formation of Silicon-on- Insulator Structures by Oxygen Implantation

SBIR: Substrate Heating for the Formation of Silicon-on- Insulator Structures by Oxygen Implantation
SBIR：通过氧注入形成绝缘体上硅结构的基板加热
批准号：
8560413
负责人：
Stephen Bunker
金额：
$3.96万
依托单位：
Spire Corporation
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1986
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1986-02-01 至 1986-07-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8560413&HistoricalAwards=false
关键词：
SBIRSubstrateHeatingFormationSilicon

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SBIR Phase I: Noble Metal Isotope Enrichment Using a Distributed Discharge Source
  • 批准号：
    9860868
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $10.0万
  • 财政年份：
    1999
  • 负责人：
    Stephen Bunker
  • 依托单位：
    Implant Sciences Corporation
Adherent Zirconi Surface on Cobalt Chromium Alloy Prostheses
  • 批准号：
    9460066
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $6.48万
  • 财政年份：
    1995
  • 负责人：
    Stephen Bunker
  • 依托单位：
    Implant Sciences Corporation
Zirconium Oxide Surface Layers on Orthopaedic Devices to Increase Lifetime
  • 批准号：
    9260383
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $5.0万
  • 财政年份：
    1993
  • 负责人：
    Stephen Bunker
  • 依托单位：
    Implant Sciences Corporation
Reactive Coating of Carbides by Simultaneous Ion Bombardment and Material Deposition
  • 批准号：
    9160136
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $4.99万
  • 财政年份：
    1992
  • 负责人：
    Stephen Bunker
  • 依托单位：
    Implant Sciences Corporation
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