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Interaction of Electrons and Photons with Reactive Plasma Radicals

Interaction of Electrons and Photons with Reactive Plasma Radicals
电子和光子与活性等离子体自由基的相互作用
批准号：
9401874
负责人：
Kurt Becker
金额：
$25.08万
依托单位：
CUNY City College
依托单位国家：
美国
项目类别：
Continuing Grant
财政年份：
1994
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1994-06-15 至 1997-11-30
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9401874&HistoricalAwards=false
关键词：
InteractionElectronsPhotonsReactivePlasma

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中文摘要
翻译
9401874 K.贝克尔 对低温等离子体处理中的碰撞截面进行了实验研究。 重点是含有F，Cl和Br原子的反应性物种，其目标是通过分析电子撞击母体分子产生的光谱来产生关于激发和解离的数据。 这些数据对于表征和建模等离子体蚀刻等工业重要工艺中使用的反应等离子体至关重要。
英文摘要
9401874 K. Becker Experimental investigations of collision cross sections of interest to low-temperature plasma processing are investigated. The emphasis is on reactive species containing F, Cl and Br atoms with the goal of producing data on excitation and dissociation by analysis of the optical spectra produced by electron impact on the parent molecules. The data is essential for characterizing and modeling reactive plasmas used in industrially important processes such as plasma etching.
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Collaborative Research: Proofing A Basic Systems Engineering Model Through Empirically-Based Cognitive Testing
  • 批准号：
    1761774
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $23.66万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Kurt Becker
  • 依托单位：
    Utah State University
Collaborative Research: Quantifying Differences Between Professional Expert Engineers and Engineering Students Designing: Empirical Foundations for Improved Engineering Education
  • 批准号：
    1463809
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $31.19万
  • 财政年份：
    2015
  • 负责人：
    Kurt Becker
  • 依托单位：
    Utah State University
GRADUATE RESEARCH FELLOWSHIP PROGRAM
  • 批准号：
    1104522
  • 项目类别：
    Fellowship Award
  • 资助金额：
    $4.05万
  • 财政年份：
    2010
  • 负责人：
    Kurt Becker
  • 依托单位：
    New York University
Laboratories for Institute for Engineered Interfaces
  • 批准号：
    0963137
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $300.0万
  • 财政年份：
    2010
  • 负责人：
    Kurt Becker
  • 依托单位：
    Polytechnic University of New York
海外基金