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The 38th International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams (New Orleans, Louisiana May 31-June 3, 1994)

The 38th International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams (New Orleans, Louisiana May 31-June 3, 1994)
第38届国际电子束、离子束和光子束研讨会（路易斯安那州新奥尔良，1994年5月31日至6月3日）
批准号：
9406876
负责人：
Henry Smith
金额：
$0.5万
依托单位：
Massachusetts Institute of Technology
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1994
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1994-05-01 至 1995-10-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9406876&HistoricalAwards=false
关键词：
38thInternationalSymposiumElectronIon

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
在纳米制造、微制造、电子和离子光刻、x射线光刻、粒子束光学以及纳米制造的前沿应用领域，电子、离子和光子光束国际研讨会是最重要的会议。在这个会议上，来自世界各地的研究小组的最新研究成果通常首先被报道。会议纪要通过同行评议后，将发表在11 / 12月刊的《真空科学与技术杂志》（美国物理学会的档案期刊）上。NSF对会议的支持将用于研究生参与本次活动。＊＊＊
英文摘要
9406876 Smith In the fields of nanofabrication, microfabrication, electron and ion lithographies, x-ray lithography, particle beam optics, and forefront applications of nanofabrication, the International Symposium on Electron, Ion and Photon Beams is the premier conference. At this conference the latest research results from groups around the world are usually reported first. the proceedings of the Symposium are published in the Nov/Dec issue of the Journal of Vacuum Science and Technology (an American Institute of Physics archival journal) provided they pass peer review. The NSF support of the conference will be used to enable graduate student participation in this event. ***
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会议论文
Support of student travel to the EIPBN conference. To be held at the Gaylord Opryland Resort, Nashville, Tennessee, May 28-31, 2013.
University of the Virgin Islands: Living on Earth III: Social-Ecological Systems Workshop 2012, October 24-28, 2012
  • 批准号：
    1237410
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $17.23万
  • 财政年份：
    2012
  • 负责人：
    Henry Smith
  • 依托单位：
    University of The Virgin Islands
Support of student travel to EIPBN 12
SBIR Phase II: Nanometer-Level Fidelity in Maskless Lithography
  • 批准号：
    1058417
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $49.99万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    Henry Smith
  • 依托单位：
    LUMARRAY LLC
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