The 38th International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams (New Orleans, Louisiana May 31-June 3, 1994)

第38届国际电子束、离子束和光子束研讨会（路易斯安那州新奥尔良，1994年5月31日至6月3日）

• 批准号: 9406876
• 负责人: Henry Smith
• 金额: $ 0.5万
• 依托单位: Massachusetts Institute of Technology
• 依托单位国家: 美国
• 项目类别: Standard Grant
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 美国
• 起止时间: 1994-05-01 至 1995-10-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9406876&HistoricalAwards=false
• 关键词: 38th; International; Symposium; Electron; Ion

9406876 Smith In the fields of nanofabrication, microfabrication, electron and ion lithographies, x-ray lithography, particle beam optics, and forefront applications of nanofabrication, the International Symposium on Electron, Ion and Photon Beams is the premier conference. At this conference the latest research results from groups around the world are usually reported first. the proceedings of the Symposium are published in the Nov/Dec issue of the Journal of Vacuum Science and Technology (an American Institute of Physics archival journal) provided they pass peer review. The NSF support of the conference will be used to enable graduate student participation in this event. ***

9406876 Smith在纳米纤维、微细加工、电子和离子光刻、X射线光刻、粒子束光学和纳米纤维的前沿应用领域，电子、离子和光子束国际研讨会是首屈一指的会议。 在这个会议上，来自世界各地的最新研究成果通常首先报告。 研讨会的会议记录发表在11月/12月出版的《真空科学与技术杂志》（美国物理研究所档案杂志）上，前提是它们通过同行评审。 NSF对会议的支持将用于使研究生能够参与此次活动。 ***