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Advanced Microsystems through alternative microfabrication processes

Advanced Microsystems through alternative microfabrication processes
通过替代微加工工艺实现先进微系统
批准号：
RGPIN-2017-06567
负责人：
Cretu, Edmond
金额：
$1.75万
依托单位：
University of British Columbia
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2021
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2021-01-01 至 2022-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=734989
关键词：
AdvancedMicrosystemsthroughalternativemicrofabrication

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coupled resonators; functionalized photoresist; inertial MEMS sensors; maskless lithography; microfluidics; microsystems; parametric amplification; sliding mode control; SU-8; ultrasonic transducers
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Micro-acousto-electro-mechanical systems (MAEMS). A systemic approach for a pervasive ultrasound
  • 批准号：
    RGPIN-2022-05302
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.4万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Cretu, Edmond
  • 依托单位：
    University of British Columbia
Advanced Microsystems through alternative microfabrication processes
  • 批准号：
    RGPIN-2017-06567
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.75万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Cretu, Edmond
  • 依托单位：
    University of British Columbia
Advanced Microsystems through alternative microfabrication processes
  • 批准号：
    RGPIN-2017-06567
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.75万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    Cretu, Edmond
  • 依托单位：
    University of British Columbia
Advanced Microsystems through alternative microfabrication processes
  • 批准号：
    RGPIN-2017-06567
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.75万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Cretu, Edmond
  • 依托单位：
    University of British Columbia
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