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Advanced Microsystems through alternative microfabrication processes
通过替代微加工工艺实现先进微系统
基本信息
- 批准号：RGPIN-2017-06567
- 负责人：
- 金额：$ 1.75万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Discovery Grants Program - Individual
- 财政年份：2021
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2021-01-01 至 2022-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
coupled resonators; functionalized photoresist; inertial MEMS sensors; maskless lithography; microfluidics; microsystems; parametric amplification; sliding mode control; SU-8; ultrasonic transducers
耦合谐振器;官能化的光致抗蚀剂;惯性MEMS传感器;无掩模光刻;微流体;微系统;参量放大滑模控制;苏-8飞机超声换能器
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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