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Ein molekularer Ansatz zur Herstellung elektrisch funktioneller Nanostrukturen mittels Dip-Pen-Nanolithographie (DPN)

Ein molekularer Ansatz zur Herstellung elektrisch funktioneller Nanostrukturen mittels Dip-Pen-Nanolithographie (DPN)
使用浸笔纳米光刻 (DPN) 制造电功能纳米结构的分子方法
批准号:
106701894
负责人:
Professor Dr. Ulrich Simon
金额:
$0.0万
依托单位国家:
德国
项目类别:
Research Grants
财政年份:
2009
资助国家:
德国
项目状态:
已结题
起止时间:
2008-12-31 至 2012-12-31

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项目成果

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Das Ziel des Forschungsvorhabens ist es, mittels Dip-Pen-Nanolithographie (DPN) einen molekularen Ansatz zur Herstellung elektrisch funktioneller Nanostrukturen auf isolierenden und halbleitenden Oberflächen zu entwickeln. Durch das Schreiben geeigneter Precursor-Tinten sollen die in Vorarbeiten entwickelten chemischen Methoden genutzt werden, um Metalle und Metalloxide in Strukturen im Größenbereich < 50 nm auf Silicium-, Glas- oder Glimmeroberflächen zu schreiben und so funktionelle Demonstratoren zu entwickeln. Neben der Entwicklung von Methoden zur kontrollierten Materialabscheidung richtet sich der Fokus des Projektes auf die detaillierte Charakterisierung der Strukturen und auf die Untersuchung der Zusammenhänge zwischen den elektronischen Eigenschaften und der Mikrostruktur der geschriebenen Materialien. Damit soll in dem hier angestrebten Projekt die Lücke zwischen den etablierten chemisch-präparativen Methoden zur Herstellung von Nanostrukturen und dem parallelisierten, kostengünstigen und einfachen lithographischen Schreiben von Molekülen mittels DPN geschlossen werden, um auf diese Weise eine Art „DPN-Baukastensystem“ zur Herstellung einfacher Bauelemente zu schaffen.
期刊论文(1)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Challenging material patterning: fine lithography on coarse substrates.
具有挑战性的材料图案化:粗糙基板上的精细光刻
DOI: 10.1002/sca.21126
发表时间: 2013
期刊: Scanning
影响因子: --
作者: [S. Gilles, A.-K. Steppert, M. Barth, L. Niewoehner, U. Simon]
通讯作者: U. Simon
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