Numerical methods for characterisation of micro- and nanostructures

表征微米和纳米结构的数值方法

• 批准号: 123596014
• 负责人: Dr.-Ing. Thomas Wriedt
• 金额: --
• 依托单位: Fachgebiet Mechanische Verfahrenstechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2008-12-31 至 2013-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/123596014?language=en
• 关键词: Numerical; methods; characterisation; micro; nanostructures

Die Art einer Partikel auf der Oberfläche eines Halbleiterwafers gibt Hinweise auf den Ursprung einer partikelförmigen Kontamination und bedingt die Art und Welse des folgenden Umgangs mit dem Problem wie z. B. einer möglichen Reinigung. Deshalb soll im Rahmen dieses Vorhabens eine Möglichkeit erforscht werden, über die Defektgröße hinaus auch deren Form und Brechungsindex zu bestimmen. Diese Merkmale werden üblicherweise noch nicht mit Laser-surface-scannern gemessen. Konkret soll eine Analysemethode entwickelt werden, mit der aus einer über den gesamten Halbraum gemessenen Streulichtverteilung die Form und der Brechungsindex einer Partikel auf einer planaren Oberfläche rekonstruiert werden kann.

Die Art einer Partikel auf der Oberfläche eines Halbleiterwafers gibt Hinweise auf den Ursprung einer partikelförmigen Kontamination and bedingt die Art und Welse des folgenden Umgangs mit dem Problem wie z. B。一个伟大的复兴。因此，在拉赫曼，这种形式和Brechungsindex也是最好的形式和Brechungsindex，因此，这种形式和Brechungsindex是一种韦尔登。这种汞韦尔登还不能用激光表面扫描仪。通过一种新的分析方法，可以对一个平面上的曲面进行形状和边界指数的分析。

项目成果

Numerical simulation of Electron Energy Loss Spectroscopy using a Generalized Multipole Technique.

使用广义多极技术对电子能量损失谱进行数值模拟

• DOI: 10.1016/j.ultramic.2013.07.001
• 发表时间: 2013
• 期刊: Ultramicroscopy
• 影响因子: 2.2
• 作者: L. Kiewidt;M. Karamehmedović;C. Matyssek;W. Hergert;L. Mädler;T. Wriedt
• 通讯作者: T. Wriedt

Profile estimation for Pt submicron wire on rough Si substrate from experimental data.

根据实验数据估计粗糙硅衬底上 Pt 亚微米线的轮廓

• DOI: 10.1364/oe.20.021678
• 发表时间: 2012
• 期刊: Optics express
• 影响因子: 3.8
• 作者: M. Karamehmedović;P.-E. Hansen;K. Dirscherl;E. Karamehmedović;T. Wriedt
• 通讯作者: T. Wriedt