Dual-Beam Focused Ion Beam Rasterelektronenmikroskop

“这是一种新的生活方式，也是一种新的生活方式。”他说，“这是一件很重要的事情，因为这是一件非常有趣的事情。”在格伦茨-格伦茨和Oberflächeneenschaften von Vielschichtsystem en的Hochdruckphasen，Grenz-and Oberflächeneigenschaften von Vielschichtsystem en，Bit Patterndige Hochtematurwerkstoffe，Solarzellen and Li-IonenBatterien in Hochdruckphasen，Aus den Bereichen GrizfläChen in Hochdruckphasen，and Oberflächeneigenschaften von Vielschichtsystem en，bit Patterndige Hochtematurwerkstoffe，Solarzellen and Li-Ionenbatterien是一所理工学院的大学。Eine derart Breit Globalächerte MaterialPalette erfordert ein Din Dine-Beam Focus Ion Ion Rasterelektronenmikroskop der Neuen Generation，das neben einer gezieltenProbenpparation(FIB)Ferner eine Charakterisierung bis in die Nanoskala erlabt.这是一件悲剧性的事情，因为它是一所工业大学和一所新系统的技术大学。

„Die Entwicklung und damit einhergehend die detaillierte Charakterisierung neuartigerStrukturwerkstoffe und Funktionsmaterialien hat in den letzten Jahren stark an Bedeutung gewonnen.Das beantragte Großgerät soll die Lücke zwischen den heutigen Anforderungen an dieMaterialcharakterisierung auf der Nanoskala und den bestehenden Möglichkeiten schließen. Insbesondere Fragestellungen aus den Bereichen Grenzflächen in Hochdruckphasen, Grenz- und Oberflächeneigenschaften von Vielschichtsystemen, Bit Pattern Media, oxidationsbeständige Hochtemperaturwerkstoffe, Solarzellen und Li-Ionenbatterien werden an der Technischen Universität eingehend untersucht. Eine derart breit gefächerte Materialpalette erfordert ein Dual-BeamFocused Ion Beam Rasterelektronenmikroskop der neuen Generation, das neben einer gezieltenProbenpräparation (FIB) ferner eine Charakterisierung bis in die Nanoskala erlaubt. Das beantragteGerät stärkt vor allem die an der Technische Universität zunehmenden Aktivitäten auf dem Gebiet derDünnschichtsysteme und ermöglicht erst eine weitergehende TEM Charakterisierung der neuartigen Systeme.“