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Investigations of Chemical Mechanical Polishing

Investigations of Chemical Mechanical Polishing
化学机械抛光的研究
批准号：
9872595
负责人：
Steven Danyluk
金额：
$5.0万
依托单位：
Georgia Tech Research Corporation
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1998
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1998-09-01 至 2001-07-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9872595&HistoricalAwards=false
关键词：
InvestigationsChemicalMechanicalPolishing

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ABSTRACTEEC-9872595Danyluk/GA Tech This is an Exploratory Research Project to augment the Industry/University Cooperative Research Center for Engineering Tribology.This joint project involves a study of the fundamental issues associated with chemical mechanical polishing. In particular, the research will develop fundamental relationships between a 'soft' and a 'hard' surface in the presence of fluids trapped at the interface. To be studied are asperity size, mechanical properties and geometric placement, and the influence of multiple pad liners structures on polishing characteristics. The research should lead to new strategies for polishing and for the development of polishing machines
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EAGER: New Concept for Low Cost, High Throughput Inspection for Cracks in PV Manufacturing
  • 批准号：
    1042187
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $9.0万
  • 财政年份：
    2010
  • 负责人：
    Steven Danyluk
  • 依托单位：
    Georgia Tech Research Corporation
Workshop on Future Needs in Tribology
  • 批准号：
    0442380
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $2.0万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    Steven Danyluk
  • 依托单位：
    Georgia Tech Research Corporation
Request for Funds for Research Scientists and Engineers from the Former Soviet Union to Attend the Wear of Materials Conference
  • 批准号：
    0329611
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $1.2万
  • 财政年份：
    2003
  • 负责人：
    Steven Danyluk
  • 依托单位：
    Georgia Tech Research Corporation
Request for Funds for a NSF Delegation to Attend ASIATRIB2002 International Conference
  • 批准号：
    0228880
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $5.2万
  • 财政年份：
    2002
  • 负责人：
    Steven Danyluk
  • 依托单位：
    Georgia Tech Research Corporation
国内基金
海外基金
Chinese Journal of Chemical Engineering
  • 批准号：
    21224004
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    20.0万元
  • 批准年份：
    2012
  • 负责人：
    廖叶华
  • 依托单位：
    化学工业出版社
Chinese Journal of Chemical Engineering
  • 批准号：
    21024805
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    20.0万元
  • 批准年份：
    2010
  • 负责人：
    廖叶华
  • 依托单位：
    化学工业出版社