Non-thermal, reactive atmospheric pressure plasma jet (B12)

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Im Projekt wird die raum-zeitliche Entladungsentwicklung eines nichtthermischen Atmosphärendruck-Plasmajets sowie seine Kinetik während der plasmagestützten chemischen Dampfphasenabscheidung (PE-CVD) von SiOx-Schichten experimentell untersucht. Im Mittelpunkt steht die Untersuchung der niederfrequenten Entladungsdynamik und der Strukturierung der Mikroentladungen unter laminaren Strömungsverhältnissen. Die mikroskopischen Plasmaparameter werden mittels spektroskopischer Methoden erfasst und in Kooperation mit gekoppelt mit einer hydrodynamischen Modellierung.