Implementation of Deep Reactive Ion Etching Technology for the Advancement of MEMS and Micro/nanotechnology Research at the University of Louisville

路易斯维尔大学实施深度反应离子蚀刻技术以促进 MEMS 和微/纳米技术研究

基本信息

项目摘要

This MRI proposal enhances and expands upon the active MEMS and Micro/Nanotechnology research program at the University of Louisville through the acquisition of an Inductively Coupled Plasma (ICP) Deep Reactive Ion Etching (DRIE) System. The proposal builds upon (a) existing competitive research facilities in micro/nanotechnology, (b) an interdisciplinary collection of research-oriented faculty from engineering and science departments across the campus, and (c) a significant commitment by the University. The requested DRIE System will provide the enabling technology needed to realize the promise of MEMS and micro/nantechnology over the next decade and to train the engineers and scientists who will use this technology. The specific research activities addresses in this proposal can be grouped into the following concentration areas and are consistent with the expertise of the PIs: 1) Novel DRIE Processing Methodologies, 2) RF MEMS, 3) DRIE-fabricated Sensors and Detectors, 4) Optical MEMS (MOEMS), 5) Microfluidics and Lab-on-a-Chip Systems, 6) Diamond MEMS, 7) CVD Processing of High Aspect Ratio DRIE-fabricated Micromolds, and 8) Application of ICP RIE to Nanolithography. While the heart of this proposal is the development and application of exciting new research opportunities, an education and outreach program will be developed with both updated and new courses that implement DRIE technology, MEMS, and micro/nanofabrication and an associated new Certificate Program. Involved students and industrial professionals will graduate after immersion in an environment with sound science, state-of-the-art technical expertise, and applications to real world problems.
该MRI提案通过收购电感耦合等离子体(ICP)深反应离子蚀刻(DRIE)系统,增强并扩展了路易斯维尔大学的MEMS和微/纳米技术研究计划。该提案建立在(a)现有的微/纳米技术的竞争性研究设施,(B)跨学科的收集面向研究的教师从整个校园的工程和科学部门,和(c)由大学的重大承诺。 所要求的DRIE系统将提供实现MEMS和微/纳米技术在未来十年的承诺所需的使能技术,并培训将使用该技术的工程师和科学家。本提案中所述的具体研究活动可分为以下重点领域,并与主要研究者的专业知识相一致:1)新型DRIE处理方法,2)RF MEMS,3)DRIE制造的传感器和检测器,4)光学MEMS(MOEMS),5)微流体和芯片实验室系统,6)金刚石MEMS,7)高深宽比DRIE制造的微模具的CVD处理,以及8)ICP RIE在纳米光刻中的应用。虽然该提案的核心是开发和应用令人兴奋的新研究机会,但将开发一个教育和推广计划,包括实施DRIE技术,MEMS和微/纳米制造的更新和新课程以及相关的新证书计划。参与的学生和工业专业人士将在一个具有健全的科学,最先进的技术专长和真实的世界问题的应用程序的环境中沉浸后毕业。

项目成果

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