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SBIR Phase I: High Volume MOCVD AlGaN Production Tool
SBIR 第一阶段：大批量 MOCVD AlGaN 生产工具
基本信息
- 批准号：0128093
- 负责人：
- 金额：$ 10万
- 依托单位：
- 依托单位国家：美国
- 项目类别：Standard Grant
- 财政年份：2002
- 资助国家：美国
- 起止时间：2002-01-01 至 2002-10-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
This Small Business Innovation Research (SBIR) Phase I Project will develop a high volume/high pressure RDR-MOCVD nitride production tool. Two fundamental problems will be addressed. The first is the need for large area substrate quality and the second is the need for large area/high volume MOCVD nitride epitaxy production tools. This project will demonstrate a scaleable tool to meet these needs.The commercial applications of this project will be in electronics and optoelectronic device markets.
该小型企业创新研究（SBIR）第一阶段项目将开发一种大容量/高压RDR-MOCVD氮化物生产工具。两个基本问题将得到解决。第一是对大面积衬底质量的需要，第二是对大面积/高体积MOCVD氮化物外延生产工具的需要。这个项目将展示一个可扩展的工具来满足这些需求。这个项目的商业应用将在电子和光电器件市场。
项目成果
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专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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