课题基金 / 基金详情

SBIR Phase I: High Volume MOCVD AlGaN Production Tool

SBIR Phase I: High Volume MOCVD AlGaN Production Tool
SBIR 第一阶段：大批量 MOCVD AlGaN 生产工具
批准号：
0128093
负责人：
Gary Tompa
金额：
$10.0万
依托单位：
STRUCTURED MATERIALS INDUSTRIES, INC.
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
2002
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
2002-01-01 至 2002-10-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=0128093&HistoricalAwards=false
关键词：
SBIRPhaseVolumeMOCVDAlGaN

项目摘要

项目成果

Gary Tompa的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
This Small Business Innovation Research (SBIR) Phase I Project will develop a high volume/high pressure RDR-MOCVD nitride production tool. Two fundamental problems will be addressed. The first is the need for large area substrate quality and the second is the need for large area/high volume MOCVD nitride epitaxy production tools. This project will demonstrate a scaleable tool to meet these needs.The commercial applications of this project will be in electronics and optoelectronic device markets.
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
SBIR Phase I: Production Halide-CVD System for Bulk SiC Crystal Growth
SBIR Phase I: Chemical Vapor Deposition Tool for Chalcogenide Random Access Memory (C-RAM).
SBIR Phase I: Hybrid Jet Vapor Rotating Disk Tool for SiC-Thin Film Devices
SBIR Phase I: Stable High Volume Cu Precursor Evaporation Module
国内基金
海外基金
Baryogenesis, Dark Matter and Nanohertz Gravitational Waves from a Dark Supercooled Phase Transition
  • 批准号：
    24ZR1429700
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2024
  • 负责人：
    YUICHIRO NAKAI
  • 依托单位：
    上海交通大学
ATLAS实验探测器Phase 2升级
  • 批准号：
    11961141014
  • 项目类别：
    国际(地区)合作与交流项目
  • 资助金额：
    3350万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    刘衍文
  • 依托单位：
    中国科学技术大学
地幔含水相Phase E的温度压力稳定区域与晶体结构研究
  • 批准号：
    41802035
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    12.0万元
  • 批准年份：
    2018
  • 负责人：
    张里
  • 依托单位：
    北京大学
基于数字增强干涉的Phase-OTDR高灵敏度定量测量技术研究