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PECVD/PVD Dual-Beschichtungsanlage

PECVD/PVD Dual-Beschichtungsanlage
PECVD/PVD 双镀膜系统
批准号：
158967037
负责人：
金额：
$0.0万
依托单位：
Universität zu Köln
依托单位国家：
德国
项目类别：
Major Research Instrumentation
财政年份：
2010
资助国家：
德国
项目状态：
未结题
起止时间：
2009-12-31 至 --
来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/158967037?language=en
关键词：
PECVDPVDDualBeschichtungsanlage

项目摘要

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„Ein wesentlicher Forschungsschwerpunkt des Antragstellers ist die plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung. Für Neuentwicklungen bzw. vertiefende Forschung im Bereich der Schichtabscheidung mittels Plasmaverfahren soll im Arbeitskreis Mathur die PECVD/PVD-Dualanlage eine zentrale Rolle einnehmen. Die geplante Clusteranlage würde die beschriebenen Eigenschaften der Methoden von physikalischer und chemischer Schichtabscheidung kombinieren und die dabei gewonnenen Möglichkeiten der Prozessführung und Schichtentwicklung durch die Verwendung der im Arbeitskreis Mathur hergestellten Precursoren in den Optionen der zur Verfügung stehenden Schichtmaterialien für Zwecke der Grundlagenforschung bedeutend erweitern.“
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科研奖励(0)
会议论文
Plasma-chemical reduction of iron oxide photoanodes for efficient solar hydrogen production
DOI： 10.1016/j.ijhydene.2014.01.080
发表时间： 2014-03-26
期刊： INTERNATIONAL JOURNAL OF HYDROGEN ENERGY
影响因子： 7.2
作者： [Mettenboerger, Andreas, Singh, Trilok, Mathur, Sanjay]
通讯作者： Mathur, Sanjay
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海外基金
Pt-Al粘结层界面调控对EB-PVD热障涂层生长及抗氧化性能的影响机制
  • 批准号：
    2025JJ50238
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
    尹冰冰
  • 依托单位：
    湘潭大学
热成型模具表面含γ ′-Fe4N型化合物层 的渗氮-PVD异质复合涂层构筑及多性能 协同提升机制研究
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    10.0万元
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
    陈汪林
  • 依托单位：
    广东工业大学
变温THM耦合过程中原状软土PVD地基加固机理研究
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    15.0万元
  • 批准年份：
    2024
  • 负责人：
    夏长青
  • 依托单位：
    深圳大学
曲面 PVD 涂层结合性能高效评估方法及自适 应测量原理研究
  • 批准号：
    TGC24E050002
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2024
  • 负责人：
    刘吉良
  • 依托单位：
    中国计量大学