Entwicklung von Abscheidemodellen für die DBD an ausgewählten Systemen

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Auf der Basis von Experimenten zur DBD-aktivierten Atmosphärendruck-CVDAbscheidung von Schichten aus ausgewählten Prekursoren und der numerischen Simulation von Strömung, Diffusion und Reaktion in DBD-Abscheidereaktoren sollen reduzierte Reaktionsmodelle abgeleitet werden, die eine Optimierung des Reaktordesigns im Hinblick auf die Gas- bzw. Prekursorausnutzung ermöglichen. Weitestgehend sollen dafür Methoden der kombinatorischen Oberflächentechnik Anwendung finden und teilweise erforscht werden. Untersucht wird die Schichtabscheidung aus den Prekursoren TEOS bzw. TMOS, HMDSO und evt. HMDSN, aus Aminen sowie GMA. Dafür wird ein Abscheidungsreaktor genutzt, der die Erzeugung eines Zusammensetzungsgradienten in der Gasphase ermöglicht. Für die Bestimmung von Schichtdicken und die Ermittlung zusammensetzungsrelevanter Daten werden in erster Linie FTIR-Spektroskopie (externe Reflexion) sowie GDOES-Spektroskopie eingesetzt; ergänzt durch chemische Derivatisierung bzw. Versuche zum Quellverhalten in Lösungsmitteln zur Bestimmung des Vernetzungsgrades. Punktuell werden weitere Untersuchungen zur Schichtzusammensetzung oder -struktur mit anderen Methoden wie XPS, EPMA oder SIMS durchgeführt.