Oszillationen bei MOCVD Prozessen und ihr Potenzial für die Herstellung von modulierten keramischen Schutzschichten

金属有机化学气相沉积（MOCVD）是在Y2 O3-Al 2 O3体系中采用非化学计量学方法进行的一种快速气相沉积方法。这一层是一层厚的。Versuchsreihen mit systematischer Variation ausgewählter Beschichtungsparameter zeigen eine hohe Komplexität des Schichtwachstums.用YAG-化学计量法（钇-铝-花岗岩Y3 Al 5 O 12），在900 ℃或更高的温度下进行热处理，可以得到均匀的片状晶体。Eine nähere Untersuchung des lamellaren Gefüges ausgewählter Schichten mittels hochauflösender EDX-Analyse zeigte periodische Oszillationen der chemischen Zusammensetzung mit einer Schwankungsbreite von bis zu zu 10 Mol-%，und einer Periodenlänge von ca. 250纳米。这类教育可以通过对韦尔登的研究来提高认识，也可以通过对前体韦尔登的研究来提高认识。一个中心角色是层状的Wachstum也可以在Grenzschicht zwischen Substrat和Gasphase努尔begrenzt verfügbaren Sauerstoff zugerechnet韦尔登。Ein temporäres Sauerstoffdefizit würde aufgrund des unterschedlichen Oxidationsverhaitens der metallorganischen Precursoren zu einer selektiven Oxidation und nachfolgend zu einer Phasenseparation führen.微结构的Betrachtungen开始，使板层与一个迪凯在一起。250 nm处还有许多小薄片被韦尔登覆盖。这部电影非常复杂，它主要影响可变吸收和亚稳相的效果。层间微结构的内部结构（孔、柱）是由中间微结构（孔、柱）构成的，内部结构的内部结构对分层的影响是由内部结构的特征引起的。在第一次确认之后，将通过构造基底层来改善中尺度结构。对基底几何结构有显著影响。模拟二元体系Y2 O3-Al 2 O3可用于三元体系Y2 O3-Al 2 O3-ZrO 2。这是一种非常薄的片状物，它是通过将Al 2 O3和ZrO 2在Y2 O3- Gehalt中连续混合而形成的。它们与Al 2 O3和ZrO 2的混合物的混合物也可以与Y 2 O3和ZrO 2的混合物的混合物韦尔登混合。第三类系统的结构在形态学上表现出热化学特征，它们对高温-热交换非常感兴趣。

Mittels chemischer Gasphasenabscheidung aus metallorganischen Precursoren und Sauerstoff als Träger- und Reaktionsgas {metal-organic chemical vapor deposition, MOCVD) wurden unter Einsatz der Flash-Verdampfung keramische Schichten im System Y2O3-AI2O3 mit unterschiedlicher Stöchiometrie hergestellt. Die Schichten weisen ein ausgeprägtes lamellares Gefüge auf. Versuchsreihen mit systematischer Variation ausgewählter Beschichtungsparameter zeigen eine hohe Komplexität des Schichtwachstums. Besonders homogene Lamellen wurden beispielsweise bei Schichten mit einer Zusammensetzung nahe der YAG-Stöchiometrie (Yttrium-Aluminium- Granat Y3AI5O12), bei einer niedrigen Beschichtungstemperatur (900 C) oder einer hohen Precursorzufuhr beobachtet. Eine nähere Untersuchung des lamellaren Gefüges ausgewählter Schichten mittels hochauflösender EDX-Analyse zeigte periodische Oszillationen der chemischen Zusammensetzung mit einer Schwankungsbreite von bis zu 10 Mol-%, und einer Periodenlänge von ca. 250 nm. Diese Beobachtung kann möglicherweise durch Konzentrationsschwankungen der Reaktanden erklärt werden, welche aufgrund gering abweichender Verdampfungsraten der Precursoren verursacht werden. Eine zentrale Rolle beim lamellaren Wachstum könnte auch dem an der Grenzschicht zwischen Substrat und Gasphase nur begrenzt verfügbaren Sauerstoff zugerechnet werden. Ein temporäres Sauerstoffdefizit würde aufgrund des unterschiedlichen Oxidationsverhaitens der metallorganischen Precursoren zu einer selektiven Oxidation und nachfolgend zu einer Phasenseparation führen. Mikrostrukturelle Betrachtungen zeigen, dass die grobskaligen Lamellen mit einer Dicke von ca. 250 nm noch in sehr viele kleinere Lamellen unterteilt werden können. Hier spielen vermutlich komplexe, sich gegenseitig beeinflussende Effekte wie variable Absorption und metastabile Phasenbeziehungen eine dominierende Rolle. Neben der lamellaren Mikrostruktur wurde die Ausbildung verschiedener Mesostrukturen (dicht, porös, kolumnar) beobachtet, welche anscheinend aufgrund von unterschiedlich starken Eigenspannungen einen Einfluss auf die Neigung einer Schicht zur Delamination haben. Nach ersten Erkenntnissen wird die Ausbildung der Mesostruktur von der Anströmung der Substratoberfläche bzw. der Substratgeometrie signifikant beeinflusst. Analog zum binären System Y2O3-AI2O3 wurden erste Schichten im ternären System Y2O3-AI2O3- ZrO2 hergestellt. Diese zeigen ein sehr ausgeprägtes lamellares Schichtwachstum, welches durch eine gegenphasige Oszillation des Gehalts von AI2O3 und ZrO2 bei nahezu konstantem Y2O3- Gehalt gekennzeichnet ist. Dies kann zwanglos mit der fehlenden Mischkristallbildung zwischen AI2O3 und ZrO2 sowie gleichzeitig weitgehender Mischkristallbildung sowohl zwischen Y2O3 und ZrO2 als auch zwischen Y2O3 und AI2O3 erklärt werden. Die Schichten des ternären Systems erscheinen hinsichtlich ihrer Morphologie sowie ihrer thermischen und chemischen Eigenschaften als sehr interessante Hochtemperatur-Schutzschichten.