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Mikro-Auge basierend auf Glasoptiken und durchstimmbaren Dünnschichtfiltern herstellbar in waferbasierter Fertigung

基于玻璃光学器件和可调谐薄膜滤光片的微眼可以使用基于晶圆的制造技术来生产

基本信息

批准号：
214154757
负责人：
Professorin Dr. Martina Gerken
金额：
--
依托单位：
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2011
资助国家：
德国
起止时间：
2010-12-31 至 2014-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/214154757?language=en
关键词：
Mikro Auge basierend auf Glasoptiken

项目摘要

Ziel dieses Projektes ist die Realisierung von durchstimmbaren Mikro-Augen basierend auf Glasoptiken in Kombination mit durchstimmbaren Dünnschichtfiltern. Es sollen künstliche Einapertur- Augen aus Komponenten realisiert werden, die mit Verfahren der mikrosystemtechnischen Waferprozessierung hergestellt und zusammengefügt werden können. Geplant ist die Realisierung von aus mehreren Substraten zusammengesetzten durchstimmbaren abbildenden katadioptrischen Systemen. Dabei soll die Abbildung über sphärische und asphärische Mikrolinsen und -spiegel realisiert werden, die mit dem Verfahren des viskosen Glasfließens in waferbasierter Fertigung ausgeformt werden. Diese Glasoptiken werden kombiniert mit mehreren durchstimmbaren, segmentierten Dünnschichtfiltern für die Wellenlängenbereichs- bzw. Polarisationsselektion, die Fokusaktuierung und die Einstellung der Lichtstärke bzw. die Realisierung einer Blende. Die Durchstimmung der Dünnschichtfilter erfolgt über die Verformung integrierter Schichten aus PDMS (Polydimethylsiloxan) in Folge von thermischer bzw. elektrostatischer Aktuierung. Diese Waferlevel- Optiken werden erst nach der Systemintegration vereinzelt und bieten eine kostengünstige Herstellung für mittel- bis hochvolumige Anwendungen. Die Kombination von durchstimmbaren Dünnschichtfiltern mit Glasoptiken ermöglicht eine hohe optische Güte und Robustheit.

在Kombination MIT的Durchstimmbaren Dünschichtfiltern中，Ziel Dieses is die Realisierung von duchstimmbaren Mikro-Augen basierend auf Glasoptiken。Es Sollen künstliche Einperture-Augen Aus Komponenten realisiert，die MIT Verfahren der mikrosystem Technischen waferprozessierung hersterellt and zusammengefügt Wen den Knnnnen.这是一种新的思维方式，是一种新的技术。他说：“这是一件非常重要的事情，因为它是一件非常重要的事情。”这句话的意思是：“如果你想把所有的东西都过滤掉，你就会发现它们的偏振和偏振。Durchstimmung der DünnschichtFilter erfolgtüber die Verformung积分器Schichten Aus PDMS(聚二甲基硅氧烷)在Folge von thermischer bzw.ElectrkElectrticscher Aktuierung中。Dese WaferLevel-Optiken是系统集成的最佳选择和最佳选择。Durchstimmbaren DünschichtFiltern MIT Glasoptiken ermöglicht eine Hohe Optische Güte and Robustheit.