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Non-destructive characterisation of residual stresses for the silicon-on-sapphire technology

Non-destructive characterisation of residual stresses for the silicon-on-sapphire technology
蓝宝石上硅技术残余应力的无损表征
批准号：
LP0882791
负责人：
Prof Liangchi Zhang
金额：
$20.15万
依托单位：
The University of New South Wales
依托单位国家：
澳大利亚
项目类别：
Linkage Projects
财政年份：
2008
资助国家：
澳大利亚
项目状态：
已结题
起止时间：
2008-05-01 至 2011-05-01
来源：
https://dataportal.arc.gov.au/RGS/Web/Grants/LP0882791
关键词：
Nondestructivecharacterisationresidualstresses

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Every sapphire wafer for the fabrication of integrated circuits using the silicon-on-sapphire technology is worth more than a thousand dollars, and the cost grows exponentially with successive processing of circuitry. Early detection and prevention of wafer failure is therefore an economic and quality necessity. The fast, non-destructive method to be developed by the proposed research will enable semiconductor electronics manufacturers to achieve a cost-effective fabrication of integrated circuits by detecting damages in wafers at the very early stage of production.
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Integrity prediction of ground precision surfaces
  • 批准号：
    DP190102959
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $11.55万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    Prof Liangchi Zhang
  • 依托单位：
    The University of New South Wales
Machining-induced damage mechanisms in KDP crystals
  • 批准号：
    DP170100567
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $26.56万
  • 财政年份：
    2017
  • 负责人：
    Prof Liangchi Zhang
  • 依托单位：
    The University of New South Wales
An integral approach enabling the defect-free manufacture of microlens arrays
  • 批准号：
    DP140103476
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $31.46万
  • 财政年份：
    2014
  • 负责人：
    Prof Liangchi Zhang
  • 依托单位：
    The University of New South Wales
Heat conduction characterisation of buried insulation layers in silicon-on-insulator systems
  • 批准号：
    LP130100108
  • 项目类别：
    Linkage Projects
  • 资助金额：
    $22.34万
  • 财政年份：
    2014
  • 负责人：
    Prof Liangchi Zhang
  • 依托单位：
    The University of New South Wales
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