Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop (HR-REM) mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX)

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Es soll ein hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop (HR-REM) mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX) beschafft werden. Das Ultra-hochauflösende Feldemissions- Rasterelektronenmikroskop soll u.a. folgende Ausstattungsmerkmale besitzen: variable Beschleunigungsspannung 0.01 - 30 kV mit einer Schottky-Emitter mit In-lens-Kondensorlinse und kontinuierliche Strahlstromeinstellung bis 500 nA. Mit dem In-lens Detektorsystem für SE- und BE-Abbildung mit Energiefiltersystem und Feldfreie Hybrid-Objektivlinse, das eine sehr hohe Auflösung im SE-Bild von 0.7 nm bei 15 kV bis 1 kV garantiert. Zudem soll das HR-REM eine hohe Strahlstromstärke für Elementanalyse mittels EDX ermöglichen. Die hohe Variabilität dieses HR-REM ermöglicht die Analyse von organisch-anorganischen Verbundmaterialien sowie organischen Materialien. Diese Analysemöglichkeiten bestehen derzeit an der Universität Stuttgart nicht.