Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop (HR-REM) mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX)

具有能量色散 X 射线光谱 (EDX) 的高分辨率扫描电子显微镜 (HR-SEM)

• 批准号: 317340908
• 金额: --
• 依托单位: Universität Stuttgart
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2015-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/317340908?language=en
• 关键词: Hochaufl; sendes; Rasterelektronenmikroskop; HR; REM

Es soll ein hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop (HR-REM) mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX) beschafft werden. Das Ultra-hochauflösende Feldemissions- Rasterelektronenmikroskop soll u.a. folgende Ausstattungsmerkmale besitzen: variable Beschleunigungsspannung 0.01 - 30 kV mit einer Schottky-Emitter mit In-lens-Kondensorlinse und kontinuierliche Strahlstromeinstellung bis 500 nA. Mit dem In-lens Detektorsystem für SE- und BE-Abbildung mit Energiefiltersystem und Feldfreie Hybrid-Objektivlinse, das eine sehr hohe Auflösung im SE-Bild von 0.7 nm bei 15 kV bis 1 kV garantiert. Zudem soll das HR-REM eine hohe Strahlstromstärke für Elementanalyse mittels EDX ermöglichen. Die hohe Variabilität dieses HR-REM ermöglicht die Analyse von organisch-anorganischen Verbundmaterialien sowie organischen Materialien. Diese Analysemöglichkeiten bestehen derzeit an der Universität Stuttgart nicht.

这是一种能量分散的共振成像（EDX）方法。Das Ultra-hochauflösende Feldemissions-Rastektronenmikroskop soll u.a.一般情况下：可变电压为0.01 - 30 kV，带透镜内电容器的肖特基电容器和500 nA的连续Strahlstromeinstellung。通过采用能量滤波系统和Feldfreie Hybrid-Objektivlinse的SE和BE吸收的透镜内检测系统，在15 kV至1 kV的保证电压下，在0.7 nm的SE图像中获得了最大的增益。因此，HR-REM是一种用于EDX的元素分析的最佳方法。HR-REM的最大可变性是对组织-非组织垂直材料和组织材料的分析。斯图加特大学的这种分析方法不适用。