Multiskalige Mess-, Steuer- und Regelungstechnik für die Prüfung von Mikro- und Nano-Systemen in der Produktion

用于测试生产中微纳系统的多尺度测量、控制和调节技术

• 批准号: 31927889
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Oliver Sawodny
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Systemdynamik (ISYS)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2005-12-31 至 2008-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/31927889?language=en
• 关键词: Multiskalige; Mess; Steuer; und; Regelungstechnik

Die Erfassung multiskaliger Eigenschaften von Mikro- und Nano-Systemen benötigt nicht nur Methoden und Strategien in den Bereichen Messverfahren und Datenauswertung, sondern auch in der Steuerung und Regelung. Dabei muss die Systemintegration von Sensorik, Datenauswertung und Aktuatorik berücksichtigt werden. Aus den Informationen der Datenauswertung und der Messablaufsteuerung werden in den Modulen zur Trajektoriengenerierung unter einer dynamischen Korrektur von Messprinzip- bedingten systematischen Fehlern Führungsgrößen für die multiskalige Messaufgabe generiert. Die multiskaligen Anforderungen hinsichtlich Genauigkeit, Reproduzierbarkeit und Bahnfehler müssen sich in den Entwurfsprinzipien der Regelung, der Aktuatorik in den Messaufbauten als auch in der Aktuatorik für die Positionierung des Messobjektes widerspiegeln. Hierzu dienen adaptive Störbeobachterkonzepte, welche basierend auf den Messergebnissen mit unterschiedlicher Genauigkeit eine Prädiktion vornehmen, und demnach die Regelung den unterschiedlichen multiskaligen Anforderung anpasst. Ergänzt wird das Konzept durch Ein- und Ausgangs- linearisierende Regelungsansätze, die eine definierte Trajektorienfolgefehler -Dynamik erlauben.

Die Erfassung Multiskaliger eigenschaften von Mikro- and nano-systemennötigtnicht nicht nur Methoden und Strategien in den bereichen Messverfahren和datenauswertung，sondern und sondenuswertung，in der Steuerung und Regelung。 Dabei Muss Die SystemIntegration Von Sensorik，Datenauswertung undAktuatorikBerücksickicktigtWerden。 Aus den Informationen der Datenauswertung und der Messablaufsteuerung werden in den Modulen zur Trajektoriengenerierung unter einer dynamischen Korrektur von Messprinzip- bedingten systematischen Fehlern Führungsgrößen für die multiskalige Messaufgabe generiert. Die Multiskaligen Anforderungen Hinsichtlich Genauigkeit，repoduzierbarkeit undBahnfehlerMüssenSich in den Entwurfsprinzipien der der regelung，der der aktuatorik，in den Messaufbauten auch in der aktuatorik ffourn deSierpeeepeepeepeeepeepeeepee，世界是一个人居住在该国的地方，居住在该国的人们居住在该国，居住在该国的人们都住在该国。世界也是一个人居住在该国的地方，居住在该国的人们居住在该国。