Multisensor Mess- und Referenzsystem für optische Präzisionssensoren

点击翻译按钮获取中文摘要

Das Fachgebiet Messtechnik forscht auf dem Gebiet der optischen Sensorik zur Erfassung von Mikro- und Nanostrukturen. Wichtige Optimierungskriterien für neue Sensorsysteme sind hohe laterale und axiale Auflösungen, die Reduzierung von Störeffekten sowie eine große Robustheit und Zuverlässigkeit. Untersucht werden sowohl mikrooptische Punktsensoren als auch kamerabasierte Sensoren zur flächenhaften Geometrieerfassung. Dabei werden interferometrische und konfokale Messprinzipien sowie Methoden der strukturierten Beleuchtung genutzt. Um die eigenen Sensoren in ihren unterschiedlichen Ausbaustufen charakterisieren und qualifizieren zu können, ist ein flexibles Referenzmesssystem erforderlich, das mit geeigneten kommerziell verfügbaren Sensoren für Vergleichsmessungen ausgestattet ist. Dafür wurden ein hochauflösender, flächenhaft messender konfokaler Sensor und ein kompaktes Rasterkraftmikroskop ausgewählt. Um Messungen reproduzierbar durchführen und vergleichen zu können, sollen geeignete Mess- und Kalibierobjekte in einer Aufspannung untersucht werden. Dies erfordert entsprechend dimensionierte, präzise Positionier- und Messachsen. Der Messplatz soll zusätzlich zur Sensorqualifizierung im Rahmen von Drittmittelprojekten ggf. auch für Auftrags- und Vergleichsmessungen an mikro- und nanostrukturierten Objekten in unterschiedlichen Skalen genutzt werden. Die Messmöglichkeiten werden innerhalb der Universität auch anderen Arbeitsgruppen zugänglich gemacht.