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Multisensor Mess- und Referenzsystem für optische Präzisionssensoren

用于光学精密传感器的多传感器测量和参考系统

基本信息

批准号：
251252554
负责人：
金额：
--
依托单位：
Universität Kassel
依托单位国家：
德国
项目类别：
Major Research Instrumentation
财政年份：
2013
资助国家：
德国
起止时间：
2012-12-31 至无数据
项目状态：
未结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/251252554?language=en
关键词：
Multisensor Mess und Referenzsystem optische

项目摘要

Das Fachgebiet Messtechnik forscht auf dem Gebiet der optischen Sensorik zur Erfassung von Mikro- und Nanostrukturen. Wichtige Optimierungskriterien für neue Sensorsysteme sind hohe laterale und axiale Auflösungen, die Reduzierung von Störeffekten sowie eine große Robustheit und Zuverlässigkeit. Untersucht werden sowohl mikrooptische Punktsensoren als auch kamerabasierte Sensoren zur flächenhaften Geometrieerfassung. Dabei werden interferometrische und konfokale Messprinzipien sowie Methoden der strukturierten Beleuchtung genutzt. Um die eigenen Sensoren in ihren unterschiedlichen Ausbaustufen charakterisieren und qualifizieren zu können, ist ein flexibles Referenzmesssystem erforderlich, das mit geeigneten kommerziell verfügbaren Sensoren für Vergleichsmessungen ausgestattet ist. Dafür wurden ein hochauflösender, flächenhaft messender konfokaler Sensor und ein kompaktes Rasterkraftmikroskop ausgewählt. Um Messungen reproduzierbar durchführen und vergleichen zu können, sollen geeignete Mess- und Kalibierobjekte in einer Aufspannung untersucht werden. Dies erfordert entsprechend dimensionierte, präzise Positionier- und Messachsen. Der Messplatz soll zusätzlich zur Sensorqualifizierung im Rahmen von Drittmittelprojekten ggf. auch für Auftrags- und Vergleichsmessungen an mikro- und nanostrukturierten Objekten in unterschiedlichen Skalen genutzt werden. Die Messmöglichkeiten werden innerhalb der Universität auch anderen Arbeitsgruppen zugänglich gemacht.

光学传感器的微结构和纳米结构的光学传感器的制造技术。Wichtige Optimierungskriterien für neue Sensorsysteme sind hohe laterale und axiale Auflösungen，die Reduzierung von Störeffekten sowie eine große Robustheit und Zuverlässigkeit.我们韦尔登也可以将微型光学传感器与平面几何传感器相结合。本文介绍了韦尔登干涉测量和干涉测量的基本方法。Um die eigenen Sensoren in ihren unteriedlichen Ausbaustufen charakterisieren und qualifizieren zu können，is ein flexibles Referenzmesssystem erforderlich，das mit geigneten kommerziell verfügbaren Sensoren für Vergleichsmessungen austattet ist. Dafür wurden ein hochauflösender，flächenhaft messender konfokaler Sensor und ein kompaktes Rasterkraftmikroskop ausgewählt. Um Messungen reproduzierbar durchführen und vergleichen zu können，sollen geeignete Mess- und Kalibierobjekte in einer Aufspannung untersucht韦尔登. Dies erfordert entsprechend dimensionierte，präzise Positionier- und Messachsen. Der Messplatz soll zusätzlich zur Sensorqualifierung im Rahmen von Drittmittelprojekten gggf.也可在未完全固化的Skalen genutzt韦尔登中进行微结构和纳米结构物体的Auftrags- und Vergleichsmessungen。大学的韦尔登们也在那里工作。