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In-situ calibration of microprobe with nanometric accuracy using a rotating reference sphere

In-situ calibration of microprobe with nanometric accuracy using a rotating reference sphere
使用旋转参考球对纳米级精度的微探针进行原位校准
批准号：
20K04195
负责人：
Ito So
金额：
$2.75万
依托单位：
Toyama Prefectural University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2020-04-01 至 2023-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20K04195/
关键词：
回転基準球校正マイクロプローブ三次元測定CMMmicro-CMM

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きさげ面および微細穴の知的センシング
智能传感刮擦表面和微孔
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [Yi Zhang, Kohei Muta, Kaito Yamada, Takashi Onishi, Kazuhito Ohashi, 内田あすか，青山英樹, 伊東聡]
通讯作者： 伊東聡
Dimensional measurement of micrometer-scale aperture using a surface interaction force detection type microprobe
使用表面相互作用力检测型微探针对微米级孔径进行尺寸测量
DOI： --
发表时间： 2020
期刊：
影响因子： --
作者： [Daichi Kato, So Ito, Kazuhide Kamiya, Kimihisa Matsumoto]
通讯作者： Kimihisa Matsumoto
Preparation of undecanoic acid-terminated Si particles from rice husks
稻壳制备十一烷酸封端硅颗粒
DOI： 10.35848/1347-4065/ac2e7c
发表时间： 2022
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
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作者： [Matsumoto Kimihisa, Kamiya Kazuhide, Ito So, Yasuda Hidehiro]
通讯作者： Yasuda Hidehiro
Three-dimensional measurement of a micro-hole by a microprobing system with method of local surface interaction force detection
采用局部表面相互作用力检测方法的微探测系统对微孔进行三维测量
DOI： --
发表时间： 2022
期刊：
影响因子： --
作者： [Masakazu Aruga, So Ito, Takehiro Tomioka, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya]
通讯作者： Kazuhide Kamiya
共 26 条
    Absolute measurement of long micro slit width by non-contact type twin micro-probing systems with high speed scanning of twin micro probe and real time space calibration
    Study of three dimensional measurement by utilizing a high-sensitive microprobe based on the micro liquid pillar
    • 批准号：
      26820018
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      Ito So
    • 依托单位：
      Tohoku University
    国内基金
    海外基金
    基于多模态上下文注意力机制的人类基因组自适应校正算法研究
    • 批准号：
      JCZRMS202600562
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
    • 依托单位：
      武汉华大生命科学研究院
    基于磁-电双聚焦结构的高分辨率质谱仪高阶像差分析与校正技术研究
    • 批准号：
      JCZRMS202601531
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
    • 依托单位：
      华中科技大学
    基于MEMS惯性传感器的工业机器人标定与校正方法技术开发
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      王捍兵
    • 依托单位：
      常州机电职业技术学院
    基于3D可微高斯技术的术中影像金属伪影校正算法研究
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      王册
    • 依托单位：
      中山大学