In-situ calibration of microprobe with nanometric accuracy using a rotating reference sphere

使用旋转参考球对纳米级精度的微探针进行原位校准

基本信息

  • 批准号:
    20K04195
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.75万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2020
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2020-04-01 至 2023-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(30)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Preparation of undecanoic acid-terminated Si particles from rice husks
稻壳制备十一烷酸封端硅颗粒
  • DOI:
    10.35848/1347-4065/ac2e7c
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Matsumoto Kimihisa;Kamiya Kazuhide;Ito So;Yasuda Hidehiro
  • 通讯作者:
    Yasuda Hidehiro
きさげ面および微細穴の知的センシング
智能传感刮擦表面和微孔
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Yi Zhang;Kohei Muta;Kaito Yamada;Takashi Onishi;Kazuhito Ohashi;内田あすか,青山英樹;伊東聡
  • 通讯作者:
    伊東聡
Dimensional measurement of micrometer-scale aperture using a surface interaction force detection type microprobe
使用表面相互作用力检测型微探针对微米级孔径进行尺寸测量
  • DOI:
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Daichi Kato;So Ito;Kazuhide Kamiya;Kimihisa Matsumoto
  • 通讯作者:
    Kimihisa Matsumoto
Three-dimensional measurement of a micro-hole by a microprobing system with method of local surface interaction force detection
采用局部表面相互作用力检测方法的微探测系统对微孔进行三维测量
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Masakazu Aruga;So Ito;Takehiro Tomioka;Kimihisa Matsumoto;Kazuhide Kamiya
  • 通讯作者:
    Kazuhide Kamiya
小型斜入射干渉計の導入によるきさげ加工面の精密測定に関する研究
引入小型掠入射干涉仪进行刮削面精密测量研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    伊東聡
  • 通讯作者:
    伊東聡
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    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Matsumoto Kimihisa;Kamiya Kazuhide;Ito So;Yasuda Hidehiro;奥田陸,川村拓史,松坂壮太,比田井洋史,千葉明,森田昇
  • 通讯作者:
    奥田陸,川村拓史,松坂壮太,比田井洋史,千葉明,森田昇
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Aruga Masakazu;Ito So;Kato Daichi;Matsumoto Kimihisa;Kamiya Kazuhide;久我海咲,米山猛,立野大地,赤石幸宏,本田良知,橋本勇統
  • 通讯作者:
    久我海咲,米山猛,立野大地,赤石幸宏,本田良知,橋本勇統
Design and test of a three-axis mosaic surface encoder
三轴镶嵌曲面编码器的设计与测试
  • DOI:
  • 发表时间:
    2012
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    MooJae Kim;Yuki Shimizu;Koji Hosono;Ito So;Wei Gao
  • 通讯作者:
    Wei Gao

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  • 通讯作者:
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    2024
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    $ 2.75万
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    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
Phase Averaged Deferred Correction for Multi-Timescale Systems
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    EP/Y032624/1
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    2024
  • 资助金额:
    $ 2.75万
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    2024
  • 资助金额:
    $ 2.75万
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    24K05759
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 2.75万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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