Absolute measurement of long micro slit width by non-contact type twin micro-probing systems with high speed scanning of twin micro probe and real time space calibration
Absolute measurement of long micro slit width by non-contact type twin micro-probing systems with high speed scanning of twin micro probe and real time space calibration
采用双微探针高速扫描和实时空间校准的非接触式双微探针系统对长微缝宽度进行绝对测量
批准号：
16K05999
负责人：
Ito So
金额：
$3.08万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
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DOI：
10.1016/j.precisioneng.2015.09.016
发表时间：
2016
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
影响因子：
3.6
作者：
[S. Ito;Yuan-Liu Chen;Y. Shimizu;Hirotaka Kikuchi;W. Gao;Takahashi Kazuhiko;Kanayama Toshihiko;K. Arakawa;Atsushi Hayashi]
通讯作者：
S. Ito;Yuan-Liu Chen;Y. Shimizu;Hirotaka Kikuchi;W. Gao;Takahashi Kazuhiko;Kanayama Toshihiko;K. Arakawa;Atsushi Hayashi
スロットダイコーターの精密計測に関する研究 ‐第3 報 マイクロプローブ先端球のその場校正の不確かさ評価‐
狭缝模头涂布机精密测量研究第3部分：微探针尖端球体原位校准的不确定度评估-
狭缝模头涂布机精密测量研究第3部分：微探针尖端球体原位校准的不确定度评估-
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[So Ito, Yuanliu Chen, Hirotaka Kikuchi, Ryo Kobayashi, Yuki Shimizu, Wei Gao, Kazuhiko Takahashi, Toshihiko Kanayama, Kunmei Arakawa, Atsushi Hayashi, 伊東聡，陳遠流，菊地浩貴，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦, 小川貴大,坂田誠一郎, 伊東聡，菊地浩貴，小林遼，陳遠流，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦]
通讯作者：
伊東聡，菊地浩貴，小林遼，陳遠流，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦
せん断力検出型マイクロプローブによるマイクロ構造の精密寸法計測
使用剪切力检测微探针精确测量微观结构的尺寸
使用剪切力检测微探针精确测量微观结构的尺寸
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Yusuke Shima, So Ito, Kazuhide Kamiya, Kimihisa Matsumoto, Y. Arai and S. Sakata, 堤大輔，島由丞，伊東聡，神谷和秀，松本公久，川堰宣隆, 小川貴大，坂田誠一郎, 伊東聡, 陳日飛，坂田誠一郎, 伊東聡，神谷和秀，松本公久，高偉, 酒本拓朗，坂田誠一郎, 伊東聡]
通讯作者：
伊東聡
マイクロプローブを用いたスロットダイコーターの精密溝幅計測に関する研究
利用微探针精确测量狭缝模头涂布机槽宽的研究
利用微探针精确测量狭缝模头涂布机槽宽的研究
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[So Ito, Yuanliu Chen, Hirotaka Kikuchi, Ryo Kobayashi, Yuki Shimizu, Wei Gao, Kazuhiko Takahashi, Toshihiko Kanayama, Kunmei Arakawa, Atsushi Hayashi, 伊東聡，陳遠流，菊地浩貴，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦]
通讯作者：
伊東聡，陳遠流，菊地浩貴，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦
回転基準球を用いたCMMプローブの直径の自律的な精密計測に関する研究
利用旋转参考球自主精密测量三坐标测量机测头直径的研究
利用旋转参考球自主精密测量三坐标测量机测头直径的研究
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Yusuke Shima, So Ito, Kazuhide Kamiya, Kimihisa Matsumoto, Y. Arai and S. Sakata, 堤大輔，島由丞，伊東聡，神谷和秀，松本公久，川堰宣隆]
通讯作者：
堤大輔，島由丞，伊東聡，神谷和秀，松本公久，川堰宣隆
共 19 条
In-situ calibration of microprobe with nanometric accuracy using a rotating reference sphere
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批准号：20K04195
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.75万
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财政年份：2020
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负责人：Ito So
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依托单位：
Study of three dimensional measurement by utilizing a high-sensitive microprobe based on the micro liquid pillar
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批准号：26820018
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$2.5万
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财政年份：2014
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负责人：Ito So
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依托单位：
海外基金