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Surface measurement with sub-nano order resolution by using Spin Hall effect of light generated by optical frequency comb

Surface measurement with sub-nano order resolution by using Spin Hall effect of light generated by optical frequency comb
利用光学频率梳产生的光的自旋霍尔效应进行亚纳米级分辨率的表面测量
批准号：
19H02154
负责人：
Mizutani Yasuhiro
金额：
$11.23万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2019-04-01 至 2022-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19H02154/
关键词：
光スピンホール効果表面粗さ薄膜計測エリプソメトリ偏光計測弱値増大効果表面粗さ計測膜厚計測微細構造計測光周波数コム弱値測定弱測定超薄膜計測光弾性計測残留応力測定スピンホール効果表面形状計測量子光学効果

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光スピンホール効果エリプソメトリの開発（第4報） 表面粗さ計測の解析的検討
光学自旋霍尔效应椭偏仪的发展（第四次报告）表面粗糙度测量的分析研究
DOI： --
发表时间： 2020
期刊：
影响因子： --
作者： [Li Zhehan, 水谷 康弘, 上野原 努, 高谷 裕浩]
通讯作者： 高谷 裕浩
High-speed single pixel imaging with deep learning
具有深度学习的高速单像素成像
DOI： --
发表时间： 2019
期刊：
影响因子： --
作者： [Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya]
通讯作者： Yasuhiro Takaya
Scanning 2D Surface Profilometry by using Spin-Hall Effect of Light
利用光的自旋霍尔效应扫描二维表面轮廓测量
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [Yasuhiro Mizutani, Li Zhehan, Yoshiyasu Tadokoro, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya]
通讯作者： Yasuhiro Takaya
Development of Ellipsometry Based on Spin Hall Effect of Light (5th report)-2D distribution of SHEL shift for evaluation of sub-nanometer surface topography-
基于光的自旋霍尔效应的椭偏仪的发展（第五次报告）-用于评估亚纳米表面形貌的SHEL位移的二维分布-
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [Yasuhiro Mizutani, Li Zhehan, Yoshiyasu Tadokoro, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya, 水谷康弘, LIZHEHAN，水谷康弘，上野原努，田所利康，高谷裕浩]
通讯作者： LIZHEHAN，水谷康弘，上野原努，田所利康，高谷裕浩
共 12 条
    Large area of 3D fabrication by atomic Moire using graphene and electron beam
    • 批准号：
      18K18811
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $3.99万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      Mizutani Yasuhiro
    • 依托单位：
      Osaka University
    Ghost imaging for detecting sub-nano defect
    • 批准号：
      16H04375
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.9万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      Mizutani Yasuhiro
    • 依托单位：
      Osaka University
    Ghost Imaging Ellipsometry
    • 批准号：
      15K13914
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.41万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      Mizutani Yasuhiro
    • 依托单位：
      Osaka University
    海外基金