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Elucidation of the effect of a trace amount of oxygen addition on the decomposition and removal of polymer materials using hydrogen radicals

Elucidation of the effect of a trace amount of oxygen addition on the decomposition and removal of polymer materials using hydrogen radicals
利用氢自由基阐明微量氧加成对高分子材料分解和去除的影响
批准号：
19K04543
负责人：
Yamamoto Masashi
金额：
$2.5万
依托单位：
Kagawa National College of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2019-04-01 至 2023-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19K04543/
关键词：
ラジカルポリマー酸素添加レジストPAC介在架橋水素ラジカルポリマー分解酸素微量添加微量フォースセンサーシステムラマン分光法深紫外線励起発光分光法分子軌道計算架橋・硬化触媒毒感光剤ノボラック樹脂酸素ラジカル分解除去速度

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会议论文
He/O2混合ガス中で生成したOラジカルのレジストとの反応性評価
He/O2混合气体中产生的O自由基与抗蚀剂的反应性评价
DOI： --
发表时间： 2020
期刊：
影响因子： --
作者： [山本雅史, 秋田航希，馬庭知宏，浅川万知，長岡史郎，堀邊英夫, 山本雅史，秋田航希，十川翔太，十亀龍星，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫, 秋田航希，十川翔太，十亀龍星，山本雅史，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫, 山本雅史，秋田航希，長岡史郎，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫]
通讯作者： 山本雅史，秋田航希，長岡史郎，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫
タングステン加熱触媒体で活性化したH2/O2混合ガスを用いたPAC量の異なるノボラックレジストの除去
使用钨加热催化剂活化的 H2/O2 混合气体去除含有不同量 PAC 的酚醛清漆光刻胶
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [山本雅史, 秋田航希，馬庭知宏，浅川万知，長岡史郎，堀邊英夫, 山本雅史，秋田航希，十川翔太，十亀龍星，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫, 秋田航希，十川翔太，十亀龍星，山本雅史，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫]
通讯作者： 秋田航希，十川翔太，十亀龍星，山本雅史，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫
水素ラジカルを用いたレジスト除去速度における窒素希釈効果
氮气稀释对氢自由基抗蚀剂去除率的影响
DOI： --
发表时间： 2020
期刊：
影响因子： --
作者： [山本雅史, 秋田航希，馬庭知宏，浅川万知，長岡史郎，堀邊英夫, 山本雅史，秋田航希，十川翔太，十亀龍星，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫, 秋田航希，十川翔太，十亀龍星，山本雅史，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫, 山本雅史，秋田航希，長岡史郎，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫, 山本雅史，秋田航希，西岡寛人，谷野柊，濱崎智行，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，関口淳，梅本宏信，堀邊英夫, 谷野柊，濱崎智行，山本雅史，鹿間共一，堀邊英夫，関口淳, 秋田航希，山本雅史，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫, 西岡寛人，山本雅史，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫]
通讯作者： 西岡寛人，山本雅史，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫
Relationship between Oxygen Additive Amount and Photoresist Removal Rate Using H Radicals Generated on an Iridium Hot-Wire Catalyst
氧添加量与使用铱热丝催化剂产生的 H 自由基的光刻胶去除率之间的关系
DOI： 10.2494/photopolymer.32.609
发表时间： 2019
期刊： Journal of Photopolymer Science and Technology
影响因子： 0.8
作者： [Yamamoto Masashi, Shiroi Tomohiro, Shikama Tomokazu, Nagaoka Shiro, Umemoto Hironobu, Horibe Hideo]
通讯作者： Horibe Hideo
共 22 条
    Slow down aging with high density lipoprotein – Crosstalk of aging and lipids from the pathology of Werner syndrome
    Analysis of intra-abdominal regulatory B cells and clinical application of chemotherapy in peritoneal dissemination of gastrointestinal cancer
    • 批准号：
      17K10633
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.66万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      Yamamoto Masashi
    • 依托单位：
      Kobe University
    Establishment of chromosome analysis methods and their application on genetic resources and genome studies in tropical fruits
    • 批准号：
      17K07647
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.08万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      Yamamoto Masashi
    • 依托单位：
      Kagoshima University
    Development of new therapy targeting MDSC for metastatic advanced colon cancer.
    • 批准号：
      26462015
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.08万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      Yamamoto Masashi
    • 依托单位：
      Kobe University
    海外基金