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High-rate sputter deposition technique by controlling surface states of substrate and target independently

High-rate sputter deposition technique by controlling surface states of substrate and target independently
独立控制基底和靶材表面状态的高速溅射沉积技术
批准号：
19K05090
负责人：
ABE Yoshio
金额：
$2.83万
依托单位：
Kitami Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2019-04-01 至 2023-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19K05090/
关键词：
水蒸気スパッタ法基板冷却高速成膜酸化物薄膜水酸化物薄膜金属ターゲットモード水酸化物Ni(OH)2エージング処理熱処理熱分解β-Ni(OH)2プロトン伝道性プロトン伝導性スパッタ薄膜

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Reactive sputter deposition of β-Ni(OH)2 thin films in Ar + H2O mixed gas atmosphere at a substrate temperature of －80 °C
-80 °C 基板温度下 Ar + H2O 混合气体气氛中反应溅射沉积 β-Ni(OH)2 薄膜
DOI： 10.35848/1347-4065/acc999
发表时间： 2023
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [Yoshio Abe, Masaki Kataoka, Yuki Yokoiwa, Midori Kawamura, Kyung Ho Kim, Takayuki Kiba]
通讯作者： Takayuki Kiba
High-rate sputter deposition of chromium oxide thin films under metallic target mode using water vapor as a reactive gas
水蒸气作为反应气体在金属靶模式下高速溅射沉积氧化铬薄膜
DOI： --
发表时间： 2019
期刊：
影响因子： --
作者： [Fan Wang, Yoshio Abe, Midori Kawamura, Kyung Ho Kim, Takayuki Kiba]
通讯作者： Takayuki Kiba
遷移金属酸化物のエレクトロクロミック特性とそのデバイスへの応用
过渡金属氧化物的电致变色性能及其在器件中的应用
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [Yoshio Abe, Masaki Kataoka, Yuki Yokoiwa, Midori Kawamura, Kyung Ho Kim, Takayuki Kiba, 阿部良夫]
通讯作者： 阿部良夫
水蒸気スパッタ法におけるターゲット状態の制御と酸化タンタル薄膜の作製
水蒸气溅射法靶材条件的控制及氧化钽薄膜的制备
DOI： --
发表时间： 2019
期刊：
影响因子： --
作者： [伊藤勇佑, 阿部良夫, 川村みどり, 金 敬鎬, 木場隆之]
通讯作者： 木場隆之
共 14 条
    Research on the crisis management of Jewish refugees in Shanghai
    • 批准号：
      17K03135
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $0.67万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      ABE Yoshio
    • 依托单位：
      Kyushu University
    Development of porous hyroxide thin films for smart windows
    • 批准号：
      24550228
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.41万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      ABE Yoshio
    • 依托单位：
      Kitami Institute of Technology
    Research on the life rebuilding of Jewish refugees in Shanghai
    • 批准号：
      24520806
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $0.67万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      ABE Yoshio
    • 依托单位：
      Kyushu University
    Research of the Jewish refugee society in Shanghai by the viewpoint of human security
    • 批准号：
      21520722
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $0.58万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      ABE Yoshio
    • 依托单位：
      Kyushu University
    海外基金