Development of high-efficiency wet polishing method for diamond substrate utilizing ultraviolet light / ozone gas
Development of high-efficiency wet polishing method for diamond substrate utilizing ultraviolet light / ozone gas
利用紫外光/臭氧气体的金刚石基体高效湿法抛光方法的开发
批准号：
18K03876
负责人：
Kubota Akihisa
金额：
$2.75万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2018
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2018-04-01 至 2021-03-31
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オゾン／紫外光援用ウエット研磨法の開発－マイクロバブルの効果－
臭氧/紫外线辅助湿式抛光方法的开发 - 微泡的作用 -
臭氧/紫外线辅助湿式抛光方法的开发 - 微泡的作用 -
DOI：
--
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
作者：
[久保田章亀]
通讯作者：
久保田章亀
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Nakagami Hirotaka1, Akihisa Kubota]
通讯作者：
Akihisa Kubota
マイクロ/ナノバブルを利用したウエット研磨法によるダイヤモンド基板の平坦化
利用微/纳米气泡湿法抛光方法平坦化金刚石基底
利用微/纳米气泡湿法抛光方法平坦化金刚石基底
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Nakagami Hirotaka1, Akihisa Kubota, 中神宏崇，松尾篤樹，久保田章亀]
通讯作者：
中神宏崇，松尾篤樹，久保田章亀
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氧化镓超精密研磨过程中解理断裂机理及其调控方法研究
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批准号：51675457
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项目类别：面上项目
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资助金额：62.0万元
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批准年份：2016
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负责人：周海
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依托单位：
超声椭圆振动协同化学作用辅助固结磨粒高效超精密研磨大直径硅片技术
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批准号：51065011
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项目类别：地区科学基金项目
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资助金额：26.0万元
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批准年份：2010
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负责人：杨卫平
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依托单位：
弹性电化超精密研磨方法及设备的研究
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批准号：59375234
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项目类别：面上项目
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资助金额：6.0万元
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批准年份：1993
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负责人：庞滔
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依托单位：
石材平板超精密研磨及其精度控制的研究
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批准号：59075192
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项目类别：面上项目
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资助金额：4.0万元
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批准年份：1990
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负责人：薛秉源
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依托单位：