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Development of high-efficiency wet polishing method for diamond substrate utilizing ultraviolet light / ozone gas

利用紫外光/臭氧气体的金刚石基体高效湿法抛光方法的开发

基本信息

批准号：
18K03876
负责人：
Kubota Akihisa
金额：
$ 2.75万
依托单位：
Kumamoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2018
资助国家：
日本
起止时间：
2018-04-01 至 2021-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（3）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

オゾン／紫外光援用ウエット研磨法の開発－マイクロバブルの効果－

臭氧/紫外线辅助湿式抛光方法的开发 - 微泡的作用 -

DOI：
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
0
作者：
久保田章亀
通讯作者：
久保田章亀

Influence of micro-bubbles on wet polishing technique of single-crystal diamond

微气泡对单晶金刚石湿法抛光技术的影响

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
Nakagami Hirotaka1;Akihisa Kubota
通讯作者：
Akihisa Kubota

マイクロ/ナノバブルを利用したウエット研磨法によるダイヤモンド基板の平坦化

利用微/纳米气泡湿法抛光方法平坦化金刚石基底

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
Nakagami Hirotaka1;Akihisa Kubota;中神宏崇，松尾篤樹，久保田章亀
通讯作者：
中神宏崇，松尾篤樹，久保田章亀

DOI：
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作者：
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作者：
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作者：
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作者：
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$ 2.75万
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批准号：
42225879
财政年份：
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资助金额：
$ 2.75万
项目类别：
Research Grants

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