Development of non-thermal formation method for high-quality zinc oxide thin films using atmospheric pressure low temperature plasma
Development of non-thermal formation method for high-quality zinc oxide thin films using atmospheric pressure low temperature plasma
利用常压低温等离子体非热形成高质量氧化锌薄膜的方法的开发
批准号：
18K04094
负责人：
Akamatsu Hiroshi
金额：
$2.83万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2018
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2018-04-01 至 2023-03-31
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Observation of planar type atmospheric pressure plasma formed by tri-electrode dielectric barrier discharge
三电极介质阻挡放电形成平面型常压等离子体的观测
三电极介质阻挡放电形成平面型常压等离子体的观测
DOI：
--
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
--
作者：
[高 義礼, 高義礼，藤原修, 高義礼，川又憲，石上忍，嶺岸茂樹，藤原修, 高 義礼, Yoshinori Taka and Osamu Fujiwara, 高義礼，藤原修, Hiroshi Akamatsu]
通讯作者：
Hiroshi Akamatsu
Metal organic plasma decomposition method for formation of zinc oxide thin film with low temperature and under atmospheric pressure
低温常压金属有机等离子体分解形成氧化锌薄膜的方法
低温常压金属有机等离子体分解形成氧化锌薄膜的方法
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[高 義礼, 高義礼，藤原修, 高義礼，川又憲，石上忍，嶺岸茂樹，藤原修, 高 義礼, Yoshinori Taka and Osamu Fujiwara, 高義礼，藤原修, Hiroshi Akamatsu, Hiroshi Akamatsu, Hiroshi Akamatsu and Kazunori Ichikawa, Hiroshi Akamatsu, Hiroshi Akamatsu and Kazunori Ichikawa, H. Akamatsu and K. Ichikawa, Hiroshi Akamatsu， Shin-ichi Yamamoto，Kazunori Ichikawa, Hiroshi Akamatsu，Shin-ichi Yamamoto，and Kazunori Ichikawa, H. Akamatsu， S. Yamamoto， K. Ichikawa]
通讯作者：
H. Akamatsu， S. Yamamoto， K. Ichikawa
Plasma-assisted synthesis of zinc oxide thin film using two different precursor materials
使用两种不同前驱体材料的等离子体辅助合成氧化锌薄膜
使用两种不同前驱体材料的等离子体辅助合成氧化锌薄膜
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[高 義礼, 高義礼，藤原修, 高義礼，川又憲，石上忍，嶺岸茂樹，藤原修, 高 義礼, Yoshinori Taka and Osamu Fujiwara, 高義礼，藤原修, Hiroshi Akamatsu, Hiroshi Akamatsu, Hiroshi Akamatsu and Kazunori Ichikawa, Hiroshi Akamatsu, Hiroshi Akamatsu and Kazunori Ichikawa, H. Akamatsu and K. Ichikawa, Hiroshi Akamatsu， Shin-ichi Yamamoto，Kazunori Ichikawa, Hiroshi Akamatsu，Shin-ichi Yamamoto，and Kazunori Ichikawa, H. Akamatsu， S. Yamamoto， K. Ichikawa, 赤松 浩， 山本 伸一， 市川 和典, Ko-ya Kuriyama， Hiroshi Akamatsu， Shin-ichi Yamamoto， Kazunori Ichikawa]
通讯作者：
Ko-ya Kuriyama， Hiroshi Akamatsu， Shin-ichi Yamamoto， Kazunori Ichikawa
Application of Sliding Discharge with Tri-electrode Dielectric Barrier Discharge for Formation of Planar Atmospheric Pressure Plasma
应用滑动放电三电极介质阻挡放电形成平面大气压等离子体
应用滑动放电三电极介质阻挡放电形成平面大气压等离子体
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[高 義礼, 高義礼，藤原修, 高義礼，川又憲，石上忍，嶺岸茂樹，藤原修, 高 義礼, Yoshinori Taka and Osamu Fujiwara, 高義礼，藤原修, Hiroshi Akamatsu, Hiroshi Akamatsu]
通讯作者：
Hiroshi Akamatsu
Plasma-assisted formation of oxide thin film at atmospheric pressure and unheated process
常压、不加热过程中等离子体辅助形成氧化物薄膜
常压、不加热过程中等离子体辅助形成氧化物薄膜
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[高 義礼, 高義礼，藤原修, 高義礼，川又憲，石上忍，嶺岸茂樹，藤原修, 高 義礼, Yoshinori Taka and Osamu Fujiwara, 高義礼，藤原修, Hiroshi Akamatsu, Hiroshi Akamatsu, Hiroshi Akamatsu and Kazunori Ichikawa, Hiroshi Akamatsu, Hiroshi Akamatsu and Kazunori Ichikawa, H. Akamatsu and K. Ichikawa, Hiroshi Akamatsu， Shin-ichi Yamamoto，Kazunori Ichikawa, Hiroshi Akamatsu，Shin-ichi Yamamoto，and Kazunori Ichikawa, H. Akamatsu， S. Yamamoto， K. Ichikawa, 赤松 浩， 山本 伸一， 市川 和典, Ko-ya Kuriyama， Hiroshi Akamatsu， Shin-ichi Yamamoto， Kazunori Ichikawa, Hiroshi Akamatsu， Ko-ya Kuriyama， Shin-ichi Yamamoto， Kazunori Ichikawa]
通讯作者：
Hiroshi Akamatsu， Ko-ya Kuriyama， Shin-ichi Yamamoto， Kazunori Ichikawa
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