Development of non-thermal formation method for high-quality zinc oxide thin films using atmospheric pressure low temperature plasma

利用常压低温等离子体非热形成高质量氧化锌薄膜的方法的开发

• 批准号: 18K04094
• 负责人: Akamatsu Hiroshi
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Kobe City College of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2018
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2018-04-01 至 2023-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18K04094/
• 关键词: 大気開放型低温プラズマ; 酸化亜鉛薄膜; 塗布プラズマ分解法; 酸素ラジカル; 酢酸亜鉛; 誘電体バリア放電; 三電極誘電体バリア放電; ヘリウム; プラズマアクチュエータ; 小型高電圧電極; 沿面放電; ナノ秒パルス高電圧電源; アルゴン; 硝酸亜鉛; 酢酸亜鉛溶液; 酸化亜鉛

项目成果

Observation of planar type atmospheric pressure plasma formed by tri-electrode dielectric barrier discharge

三电极介质阻挡放电形成平面型常压等离子体的观测

• 发表时间: 2023
• 作者: 高 義礼;高義礼，藤原修;高義礼，川又憲，石上忍，嶺岸茂樹，藤原修;高 義礼;Yoshinori Taka and Osamu Fujiwara;高義礼，藤原修;Hiroshi Akamatsu
• 通讯作者: Hiroshi Akamatsu

Metal organic plasma decomposition method for formation of zinc oxide thin film with low temperature and under atmospheric pressure

低温常压金属有机等离子体分解形成氧化锌薄膜的方法

• 发表时间: 2019
• 作者: 高 義礼;高義礼，藤原修;高義礼，川又憲，石上忍，嶺岸茂樹，藤原修;高 義礼;Yoshinori Taka and Osamu Fujiwara;高義礼，藤原修;Hiroshi Akamatsu;Hiroshi Akamatsu;Hiroshi Akamatsu and Kazunori Ichikawa;Hiroshi Akamatsu;Hiroshi Akamatsu and Kazunori Ichikawa;H. Akamatsu and K. Ichikawa;Hiroshi Akamatsu， Shin-ichi Yamamoto，Kazunori Ichikawa;Hiroshi Akamatsu，Shin-ichi Yamamoto，and Kazunori Ichikawa;H. Akamatsu， S. Yamamoto， K. Ichikawa
• 通讯作者: H. Akamatsu， S. Yamamoto， K. Ichikawa

Plasma-assisted synthesis of zinc oxide thin film using two different precursor materials

使用两种不同前驱体材料的等离子体辅助合成氧化锌薄膜

• 发表时间: 2018
• 作者: 高 義礼;高義礼，藤原修;高義礼，川又憲，石上忍，嶺岸茂樹，藤原修;高 義礼;Yoshinori Taka and Osamu Fujiwara;高義礼，藤原修;Hiroshi Akamatsu;Hiroshi Akamatsu;Hiroshi Akamatsu and Kazunori Ichikawa;Hiroshi Akamatsu;Hiroshi Akamatsu and Kazunori Ichikawa;H. Akamatsu and K. Ichikawa;Hiroshi Akamatsu， Shin-ichi Yamamoto，Kazunori Ichikawa;Hiroshi Akamatsu，Shin-ichi Yamamoto，and Kazunori Ichikawa;H. Akamatsu， S. Yamamoto， K. Ichikawa;赤松 浩， 山本 伸一， 市川 和典;Ko-ya Kuriyama， Hiroshi Akamatsu， Shin-ichi Yamamoto， Kazunori Ichikawa
• 通讯作者: Ko-ya Kuriyama， Hiroshi Akamatsu， Shin-ichi Yamamoto， Kazunori Ichikawa

Application of Sliding Discharge with Tri-electrode Dielectric Barrier Discharge for Formation of Planar Atmospheric Pressure Plasma

应用滑动放电三电极介质阻挡放电形成平面大气压等离子体

• 发表时间: 2022
• 作者: 高 義礼;高義礼，藤原修;高義礼，川又憲，石上忍，嶺岸茂樹，藤原修;高 義礼;Yoshinori Taka and Osamu Fujiwara;高義礼，藤原修;Hiroshi Akamatsu;Hiroshi Akamatsu
• 通讯作者: Hiroshi Akamatsu

Plasma-assisted formation of oxide thin film at atmospheric pressure and unheated process

常压、不加热过程中等离子体辅助形成氧化物薄膜

• 发表时间: 2018
• 作者: 高 義礼;高義礼，藤原修;高義礼，川又憲，石上忍，嶺岸茂樹，藤原修;高 義礼;Yoshinori Taka and Osamu Fujiwara;高義礼，藤原修;Hiroshi Akamatsu;Hiroshi Akamatsu;Hiroshi Akamatsu and Kazunori Ichikawa;Hiroshi Akamatsu;Hiroshi Akamatsu and Kazunori Ichikawa;H. Akamatsu and K. Ichikawa;Hiroshi Akamatsu， Shin-ichi Yamamoto，Kazunori Ichikawa;Hiroshi Akamatsu，Shin-ichi Yamamoto，and Kazunori Ichikawa;H. Akamatsu， S. Yamamoto， K. Ichikawa;赤松 浩， 山本 伸一， 市川 和典;Ko-ya Kuriyama， Hiroshi Akamatsu， Shin-ichi Yamamoto， Kazunori Ichikawa;Hiroshi Akamatsu， Ko-ya Kuriyama， Shin-ichi Yamamoto， Kazunori Ichikawa
• 通讯作者: Hiroshi Akamatsu， Ko-ya Kuriyama， Shin-ichi Yamamoto， Kazunori Ichikawa