刷新
Orientation control applicable Cu interconnect on the cutting edge of 3D devices and 3D-LSI
3D器件和3D-LSI尖端的方向控制适用Cu互连
基本信息
- 批准号：18K04223
- 负责人：
- 金额：$ 2.83万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2018
- 资助国家：日本
- 起止时间：2018-04-01 至 2021-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（6）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Cu(111)配向制御のための極薄バリヤの構造評価
用于Cu(111)取向控制的超薄势垒的结构评估
- DOI：
- 发表时间：2020
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Xiaojia Zhang;Jun Morimoto;Kazuo Uchida;and Shinji Nozaki;宮里義彦;武山真弓，佐藤 勝，安田光伸;武山真弓，佐藤 勝，安田光伸
- 通讯作者：武山真弓，佐藤 勝，安田光伸
Structural analysis of TaWN ternary alloy film applicable to Cu orientation control
适用于Cu取向控制的TaWN三元合金薄膜的结构分析
- DOI：10.35848/1347-4065/abebbd
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：M. B. Takeyama;M. Yasuda;and M. Sato
- 通讯作者：and M. Sato
Low temperature deposition of extremely thin barrier for metallization technology
低温沉积极薄阻挡层金属化技术
- DOI：
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：孫 錚;王 新磊;森元 諄;田尻 武義;内田 和男;M. B. Takeyama
- 通讯作者：M. B. Takeyama
Barrier Properties of thin TaWN films in Cu(111)/TaWN/Si systems
Cu(111)/TaWN/Si 体系中 TaWN 薄膜的势垒性能
- DOI：
- 发表时间：2020
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：M. B. Takeyama;M. Sato;and M. Yasuda
- 通讯作者：and M. Yasuda
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
Takeyama Mayumi B.其他文献
Mapping of a Ni/SiN x /n-SiC structure using scanning internal photoemission microscopy
使用扫描内部光电子显微镜绘制 Ni/SiN x /n-SiC 结构图
- DOI：
10.7567/1347-4065/aafd99 - 发表时间：
2019 - 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：
Shiojima Kenji;Hashizume Takanori;Sato Masaru;Takeyama Mayumi B. - 通讯作者：
Takeyama Mayumi B.
XRD and EBSD analysis of Cu film on randomly oriented ZrN x film as the underlying materials
作为底层材料的随机取向 ZrN x 薄膜上的 Cu 薄膜的 XRD 和 EBSD 分析
- DOI：
10.35848/1347-4065/ab7f57 - 发表时间：
2020 - 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：
Sato Masaru;Yasuda Mitsunobu;Takeyama Mayumi B. - 通讯作者：
Takeyama Mayumi B.
Takeyama Mayumi B.的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
{{ truncateString('Takeyama Mayumi B.', 18)}}的其他基金
Low temperature deposition of barrierless insulating film applicable to 3D and 2.5 D-IC
适用于3D和2.5D-IC的无阻挡绝缘薄膜的低温沉积
- 批准号：
15K05975 - 财政年份：2015
- 资助金额：
$ 2.83万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
相似海外基金
Holistic Integration Engineering with Micro-assembly and Wirelets
微装配和无线的整体集成工程
- 批准号：
22K18291 - 财政年份：2022
- 资助金额：
$ 2.83万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Pioneering)
極薄バリヤの構造解析における革新的解明とCu配線の配向制御
超薄势垒结构分析和铜互连取向控制的创新阐释
- 批准号：
21K04150 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 2.83万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Exploratory research on high-performance conductive oxides for practical high-temperature superconducting wires.
实用高温超导线材用高性能导电氧化物的探索性研究。
- 批准号：
21H01369 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 2.83万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Innovative radio-theranostics by multi-step control system of tumor accumulation and background clearance
通过肿瘤积累和背景清除的多步控制系统进行创新的放射治疗
- 批准号：
17K20122 - 财政年份：2017
- 资助金额：
$ 2.83万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Development o fusion measurement method of acoustic-emission by scanning probe microscope
扫描探针显微镜声发射融合测量方法的研制
- 批准号：
16K14123 - 财政年份：2016
- 资助金额：
$ 2.83万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research