Low temperature deposition of barrierless insulating film applicable to 3D and 2.5 D-IC

适用于3D和2.5D-IC的无阻挡绝缘薄膜的低温沉积

基本信息

  • 批准号:
    15K05975
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3.16万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2015
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2015-04-01 至 2018-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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专利数量(0)
Relationship between TiN films with different orientations and their barrier properties
不同取向TiN薄膜与其阻隔性能的关系
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    宮坂日和;井口傑;三島裕樹;井口 傑,三島 裕樹;三島 裕樹,井口 傑;井口傑,三島裕樹;三島裕樹,井口傑;Masaru Sato and Mayumi B. Takeyama
  • 通讯作者:
    Masaru Sato and Mayumi B. Takeyama
Barrierproperties of TiHfN ternary alloy films against Cu diffusion in Cu/Si contact system
TiHfN三元合金薄膜对Cu/Si接触体系中Cu扩散的阻挡性能
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    M. Sato;E. Aoyagi;and M. B. Takeyama
  • 通讯作者:
    and M. B. Takeyama
Cuプラグに適用可能なTiHfN合金膜のバリヤ特性
适用于Cu塞的TiHfN合金薄膜的阻隔性能
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    佐藤勝;青柳英二;野矢厚;武山真弓
  • 通讯作者:
    武山真弓
窒化物薄膜の微細構造制御とラジカルを用いた低温での成膜方法
氮化物薄膜的微观结构控制和自由基低温成膜
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    武山真弓;佐藤 勝;野矢 厚
  • 通讯作者:
    野矢 厚
Characterization of TiHfN ternary alloy films as a new barrier
TiHfN三元合金薄膜作为新型势垒的表征
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    佐藤勝;武山真弓;Mayumi B. Takeyama and Masaru Sato
  • 通讯作者:
    Mayumi B. Takeyama and Masaru Sato
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Takeyama Mayumi B.其他文献

Mapping of a Ni/SiN x /n-SiC structure using scanning internal photoemission microscopy
使用扫描内部光电子显微镜绘制 Ni/SiN x /n-SiC 结构图
  • DOI:
    10.7567/1347-4065/aafd99
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Shiojima Kenji;Hashizume Takanori;Sato Masaru;Takeyama Mayumi B.
  • 通讯作者:
    Takeyama Mayumi B.
XRD and EBSD analysis of Cu film on randomly oriented ZrN x film as the underlying materials
作为底层材料的随机取向 ZrN x 薄膜上的 Cu 薄膜的 XRD 和 EBSD 分析
  • DOI:
    10.35848/1347-4065/ab7f57
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Sato Masaru;Yasuda Mitsunobu;Takeyama Mayumi B.
  • 通讯作者:
    Takeyama Mayumi B.

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  • 发表时间:
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  • 通讯作者:
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Orientation control applicable Cu interconnect on the cutting edge of 3D devices and 3D-LSI
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    2018
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    $ 3.16万
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    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

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    2020
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    $ 3.16万
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    $ 3.16万
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    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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  • 资助金额:
    $ 3.16万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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  • 批准号:
    13J08817
  • 财政年份:
    2013
  • 资助金额:
    $ 3.16万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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知道了