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A Study of MEMS Actuator Driven by Low DC Voltage

A Study of MEMS Actuator Driven by Low DC Voltage
低直流电压驱动MEMS执行器的研究
批准号：
18K04913
负责人：
Mizuno Jun
金额：
$1.91万
依托单位：
Ishinomaki Senshu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2018
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2018-04-01 至 2023-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18K04913/
关键词：
MEMSactuatorcomb-drivelow voltagepull-in phenomenon金属顕微鏡対物レンズ高解像度デジタルカメラ測定装置駆動電圧プルーフマスプルイン現象櫛歯電極最小製造可能寸法電極配線レイアウト試作コインランドリ施設フォトマスクDeep-RIEVapor HFパッケージングVapor HF エッチング装置第一試作プロセス設計微小電気機械シ

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直线旋转两自由度Halbach永磁作动器及其控制系统研究
  • 批准号：
    50907007
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    20.0万元
  • 批准年份：
    2009
  • 负责人：
    房淑华
  • 依托单位：
    东南大学