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Electromagnetical coupling of AlCeN films grown by RF magnetron sputtering

Electromagnetical coupling of AlCeN films grown by RF magnetron sputtering
射频磁控溅射生长 AlCeN 薄膜的电磁耦合
批准号：
18K19037
负责人：
Yanagitani Takahiko
金额：
$4.08万
依托单位：
Waseda University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
财政年份：
2018
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2018-06-29 至 2021-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18K19037/
关键词：
圧電薄膜デバイスBAWフィルタFBARAlN圧電デバイス圧電薄膜

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基板付き圧電薄膜構造におけるkt2評価法に寄生インダクタンスが与える影響
寄生电感对带基底压电薄膜结构kt2评估方法的影响
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [山中 恵理, 近藤 圭太, 龍見 亮汰, 柳谷 隆彦]
通讯作者： 柳谷 隆彦
スパッタ法によるPZT系膜を用いた高効率超音波トランスデューサ
采用溅射法制成的PZT薄膜的高效超声波换能器
DOI： --
发表时间： 2020
期刊：
影响因子： --
作者： [佐藤裕友, 柳谷隆彦]
通讯作者： 柳谷隆彦
Effect of Negative-Ion-Bombardment Suppression by Applying Voltage to Grids Set Between Substrate and Sputtering Target During Sputtering Deposition on Crystalline Orientation of ZnO Film
溅射沉积过程中对基片与溅射靶之间设置的栅极施加负离子轰击抑制对ZnO薄膜晶体取向的影响
DOI： --
发表时间： 2020
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Tominaga, S. Takayanagi, T. Yanagitani]
通讯作者： T. Yanagitani
ZnO薄膜のMgおよびCaドーピングによるUHF帯電気機械結合係数kt2の向上
ZnO薄膜Mg、Ca掺杂提高UHF频段机电耦合系数kt2
DOI： --
发表时间： 2020
期刊：
影响因子： --
作者： [泉航太, 柳谷隆彦]
通讯作者： 柳谷隆彦
共 154 条
    Detection of protein binding by shear mode ultrasonic reflection coefficients using c-axis tilted ScAlN film in UHF range
    • 批准号：
      19H02202
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.82万
    • 财政年份：
      2019
    • 负责人：
      Yanagitani Takahiko
    • 依托单位：
      Waseda University
    Shear mode resonators for detection of biomolecular interactions in liquid
    • 批准号：
      16H04356
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.48万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      Yanagitani Takahiko
    • 依托单位：
      Waseda University
    Ultrasonic probe using polarity inverted piezoelectric layer
    • 批准号：
      15K13974
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.41万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      Yanagitani Takahiko
    • 依托单位：
      Waseda University