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Study of defect generation processes in nano-scale devices and the deign methodology based on stochastic theory

Study of defect generation processes in nano-scale devices and the deign methodology based on stochastic theory
基于随机理论的纳米器件缺陷产生过程及设计方法研究
批准号：
16K14405
负责人：
Eriguchi Koji
金额：
$2.25万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-16K14405/
关键词：
プラズマ処理表面処理ナノ構造確率過程欠陥

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Effects of dielectric loss mechanisms at electron trapping sites on damage recovery and reliability improvement in thin films
  • 批准号：
    21K18875
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
  • 资助金额：
    $4.08万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Eriguchi Koji
  • 依托单位：
    Kyoto University
Design of sp-bonds in functional BN films by arc discharge with independent parameter control
  • 批准号：
    20H02481
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $11.56万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Eriguchi Koji
  • 依托单位：
    Kyoto University
Study of structure modification of boron nitride films by plasma exposure - the effect of ion energy distribution function
  • 批准号：
    15H04159
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $10.32万
  • 财政年份：
    2015
  • 负责人：
    Eriguchi Koji
  • 依托单位：
    Kyoto University
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